Plasma in general 산소 플라즈마에 대한 질문입니다...
2018.11.15 10:26
이제 막 플라즈마에 대해 공부하고 있는 학생입니다.
산소와 아르곤 플라즈마를 이용해 물질을 처리하려고 하는데요
실험전에 아르곤플라즈마와 산소플라즈마를 조금씩 섞어줄 떄 온도 변화를 먼저 측정해 봤었는데요
산소를 섞어줄수록 중심으로부터 안테나부근의 온도들은 아르곤만 있었을 때보다 떨어졌으나
거의 챔버의 끝에서는 오히려 산소플라즈마를 섞은 것이 온도가 더 높게 측정되었습니다..
이유가 무엇일까요..?
댓글 0
번호 | 제목 | 조회 수 |
---|---|---|
공지 | [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [160] | 73027 |
공지 | Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 | 17616 |
공지 | 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. | 55516 |
공지 | kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 | 65696 |
공지 | 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] | 86027 |
86 | 안녕하세요 OLED 증착 시 궁금한점이있어 문의드립니다 [2] | 534 |
85 | 안녕하세요. Plasma etch rate에 관하여 질문이 있습니다. [1] | 531 |
84 | 라디컬의 재결합 방지 [1] | 528 |
83 | Shield 및 housing은 ground 와 floating 중 어떤게 더 좋은지요 [2] | 526 |
82 | RF 파워서플라이 매칭 문제 | 518 |
81 | 접착력을 위한 플라즈마 처리 관련 질문입니다 [1] | 518 |
80 |
Hollow Cathode glow Discharge 실험 관련해서 여쭤보고싶습니다.
[1] ![]() | 511 |
79 | RF magnetron sputtering시 플라즈마 off현상 [1] | 511 |
78 | ICP 대기압 플라즈마 분석 [1] | 509 |
77 | RPC CLEAN 시 THD 발생 [1] | 504 |
76 | 조선업에서 철재절단용으로 사용하는 가스 프라즈마에 대한 질문 [1] | 502 |
75 | analog tuner관련해서 질문드립니다. [1] | 496 |
74 | CF3의 wavelength가 궁금해서 질문드립니다. [1] | 493 |
73 | Dry Chamber VPP 변동 관련 질문입니다 [1] | 487 |
72 | 플라즈마를 통한 정전기 제거관련. [1] | 485 |
71 |
수중 속 저온 플라즈마 방전 관련 질문 드립니다
[2] ![]() | 484 |
70 | 활성이온 측정 방법 [1] | 484 |
69 | O2 플라즈마 사용에 대한 질문을 드립니다. | 474 |
68 | Frequnecy에 따라 플라즈마 영역이 달라질까요? [1] | 474 |
67 | Interlock 화면.mag overtemp의 의미 | 472 |