Matcher Plasma Arching
2022.09.13 19:17
안녕하십니까!
경기도 모 소재대학에 신소재공학과 재학중인 학생인데
신소재공학과는 전자기학을 배우지 않아서 어려움을 겪고있습니다.
1. 아킹 현상에 대해 공부중인데 임피던스 매칭? 이런 개념들이 너무 어렵고 플라즈마에 대해 이해도를 높이기 위해 전자기학 책 (원서도 좋습니다) 추천해주실만한 서적있으신가요?
답변주시면 감사하겠습니다.
| 번호 | 제목 | 조회 수 |
|---|---|---|
| 공지 | [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [158] | 72996 |
| 공지 | Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 | 17585 |
| 공지 | 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. | 55512 |
| 공지 | kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 | 65686 |
| 공지 | 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] | 86013 |
| » | Plasma Arching [1] | 529 |
| 84 | 안녕하세요. Plasma etch rate에 관하여 질문이 있습니다. [1] | 529 |
| 83 | 라디컬의 재결합 방지 [1] | 527 |
| 82 | Shield 및 housing은 ground 와 floating 중 어떤게 더 좋은지요 [2] | 522 |
| 81 | RF 파워서플라이 매칭 문제 | 518 |
| 80 | 접착력을 위한 플라즈마 처리 관련 질문입니다 [1] | 517 |
| 79 |
Hollow Cathode glow Discharge 실험 관련해서 여쭤보고싶습니다.
[1]  | 511 |
| 78 | RF magnetron sputtering시 플라즈마 off현상 [1] | 509 |
| 77 | ICP 대기압 플라즈마 분석 [1] | 507 |
| 76 | RPC CLEAN 시 THD 발생 [1] | 503 |
| 75 | 조선업에서 철재절단용으로 사용하는 가스 프라즈마에 대한 질문 [1] | 502 |
| 74 | analog tuner관련해서 질문드립니다. [1] | 496 |
| 73 | CF3의 wavelength가 궁금해서 질문드립니다. [1] | 490 |
| 72 | 플라즈마를 통한 정전기 제거관련. [1] | 485 |
| 71 | Dry Chamber VPP 변동 관련 질문입니다 [1] | 484 |
| 70 | 활성이온 측정 방법 [1] | 484 |
| 69 |
수중 속 저온 플라즈마 방전 관련 질문 드립니다
[2] | 483 |
| 68 | Frequnecy에 따라 플라즈마 영역이 달라질까요? [1] | 473 |
| 67 | Interlock 화면.mag overtemp의 의미 | 472 |
| 66 | O2 플라즈마 사용에 대한 질문을 드립니다. | 470 |
재료적 관점에서 플라즈마를 전기적 물성을 가진 재료로 생각해 보세요. 이 개념은 플라즈마의 dielectric property를 이해하는 것으로 시작하는데, 특히 lossy 한 재료가 가지는 RF 반응을 이해하면 좋습니다. 따라서 plasma dielectric property 에서 rf 주파수의 역할, plasma frequency, 및 기본적인 collision frequency 가 dielectric property를 어떻게 바꾸는가에 대해서 생각을 정리해 보세요. 이를 이해하기에 좋은 교재는 물리2 이고 Maxwell 방정식으로 부터 plasma dielectric frequency를 유도할 수 있으면, 플라즈마 공부하시는데 크게 지장은 없습니다. 참, 입자의 거동이니 하전입자의 운동 방정식과 연속 방정식은 늘 함께 다니는 식입니다. 이는 물리 1에서도 다루고 있습니다.
전자기학 책에 너무 연연하지 마시고 일반 물리에서 배운 지식을 잘 활용해 보시면 좀 더 수월하게 접근하실 수 있는 분야가 플라즈마 분야라 생각합니다.