ATM Plasma DBD plasma

2004.06.21 15:13

관리자 조회 수:18088 추천:283

DBD plasma

플라즈마 반응시 빛이 보이게 됩니다. 우선 빛의 정체를 보면, 빛을 방출하게 되는 경우는 원자가 여기되었다가 기저 상태로
낮아 지면서 나오는 에너지 차이가 우리가 인지할 수 있는 파장대의 빛으로 나오게 되는 것입니다. 이 에너지는  이온화 반응에너지
보다 낮아 이온화 반응과 함께 진행됨으로 빛이 보이면 이온화가 진댕되고 있겠다고 생각할 수 있는 이유입니다. 지금 실험하고 있는
상황은 아마도 puls corona 실험을 하고 있는것 같습니다. 혹은 DBD실험일 것입니다. 두 경우 모두 가시적으로 빛이 관찰되지 않는
다면 puls형태의 플라즈마 혹은 DBD플라즈마가 제대로 형성되지 않았다고 할 수 있습니다. 또한 corona방전이나, DBD의 경우나 외부
ground전극의 일부가 유리와 같은 유전체로 만들어져 있다고 해서 플라즈마를 만들지 못할 이유는 없습니다. 오히려 반응기에 제대로
power가 전달되고 있는 가를 점검하여야 할 것입니다.
혹은 빛이 약해서 관찰이 되지 않을 수도 있습니다. 주변을 어둡게 하고 실험을 해보기 바랍니다. 이런 경우에는 power electrode
에서 흐르는 전류를 측정해 보는 방법이 가장 확실한 방법입니다. 물론 displacement current를 제거를 하고 자료를 관찰해야 할
것입니다. 좋은 결과가 있기를 바랍니다.

번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [268] 76727
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 20188
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 57167
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 68699
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 92278
169 라디컬의 재결합 방지 [1] 789
168 Collisional mean free path 문의... [1] 787
167 ICP BIPOLAR ESC 관련 이론과 Chuck Force 계산 질문드립니다ICP BIPOLAR ESC 관련 이론과 Chuck Force 계산 질문드립니다 [1] file 785
166 새집 증후군 없애는 플러스미 - 플라즈마에 대해서 [1] 784
165 플라즈마 용어 질문드립니다 [1] 780
164 OES를 이용한 Gas Species 정량적 분석 방법 [1] 762
163 코로나 전류에 따른 발생되는 이온의 수와, 하전에 영향을 미치는 요소에 대해서 질문드립니다 [1] 760
162 Hollow Cathode glow Discharge 실험 관련해서 여쭤보고싶습니다. [1] file 758
161 RPS를 이용한 유기물 식각장비 문의 [1] 756
160 안녕하세요 OLED 증착 시 궁금한점이있어 문의드립니다 [2] 755
159 center to edge 문제를 극복하기 위한 방법 [1] 749
158 교수님 질문이 있습니다. [1] 745
157 RF Frequency 가변과 FORWARD POWER의 상관관계 [2] 742
156 O2 플라즈마 사용에 대한 질문을 드립니다. 737
155 Ion과 Radical의 이동 거리 및 거리에 따른 농도와 증착 품질 관련 [1] 736
154 안녕하세요. Plasma etch rate에 관하여 질문이 있습니다. [1] 726
153 ICP 후 변색 질문 725
152 플라즈마 진단 OES 관련 질문 [1] 717
151 ICP 대기압 플라즈마 분석 [1] 714
150 기판 위에서 Radical의 운동역학에 관하여 질문드립니다. [2] 711

Boards


XE Login