Ion/Electron Temperature 고온플라즈마와 저온플라즈마
2004.06.19 16:20
플라즈마를 구분함에 있어서 저온 플라즈마와 고온 플라즈마를 구분하기 위한 절대 온도의 개념이 설정되어 있는 것은 아닙니다. 일반적으로 산업용 플라즈마의 경우 저온 플라즈마가 형성되고 핵융합과 같은 플라즈마의 경우 전자의 온도가 수 keV 가 됨으로 고온 플라즈마라 합니다. 산업용 플라즈마는 대부분 전자 온도가 10 eV 미만이며 이온의 온도는 이보다 매우 낮아 일반적으로 방안 온도와 유사하다고 생각하기도 합니다. 실측된 이온 전자온도 값도 전자 온도의 1/10 미만의 크기를 보여줍니다.
이에 반해서 핵융합로 같이 플라즈마 구속이 좋은 경우 전자의 온도와 이온의 온도가 모두 수 keV가 되니 고온이라 할수 있으며 핵융합로 자체가 고온 고밀도 플라즈마에 대한 연구가 목적임으로 플라즈마의 발생과 구속 및 가열을 통하여 플라즈마의 온도를 향상 시킴니다. 산업용 플라즈마에서는 전자의 온도 상승이 대부분의 원치 않는 처리 결과를 야기함으로 낮은 전자온도의 플라즈마를 요구하기도 합니다. 또한 효율적으로 플라즈마가 구속되지 않음으로 전자 및 이온의 온도가 낮습니다.
댓글 0
번호 | 제목 | 조회 수 |
---|---|---|
공지 | [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [268] | 76728 |
공지 | Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 | 20190 |
공지 | 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. | 57167 |
공지 | kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 | 68699 |
공지 | 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] | 92278 |
169 | 플라즈마진단법엔 어떤것이? | 18731 |
168 | 전자온도에 대하여 궁금한 사항이 있습니다. [1] | 18740 |
167 | 플라즈마의 환경이용 | 18761 |
166 | 등온플라즈마와 비등온플라즈마 | 18767 |
165 | RF를 이용하여 Crystal 세정장치 [1] | 18875 |
164 | 플라즈마에 관하여... | 18960 |
163 | AMS진단에 대하여 궁금합니다 | 19049 |
162 | 플라즈마를 손으로 만질 수는 없나요?? | 19071 |
161 | 기중방전에서 궁금한것이 | 19162 |
160 | 질문이 몇가지 있읍니다. [1] | 19192 |
159 | scattering cross-section, rf grounding에 관한 질문입니다. [2] | 19213 |
158 | [Q]플라즈마 생성위한 자유전자라는게 뭐죠? | 19319 |
157 | MFC | 19332 |
156 | CCP/ICP에서 자석의 역활에 대하여 | 19343 |
155 | 터보분자펌프에 대해서 질문 좀 하고 싶어요! | 19356 |
154 | AC 플라즈마에서의 전압/전류 형상... | 19378 |
153 | H2/O2 혼합 플라즈마에 관련 질문 입니다. [2] | 19416 |
152 | QMA에 관하여 [1] | 19426 |
151 | Full Face Erosion 관련 질문 [2] | 19460 |
150 | 플라즈마를 이용한 박막처리 | 19467 |