1. 광전리에 의한 플라즈마의 생성에 관해서 궁금합니다.

2. hwp 플라즈마란 무엇이며 특징에 대해서 궁금합니다!

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공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 65695
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55 반도체 CVD 공정의 ACL공정에서 RF Reflect Power에 관하여 여쭤보고 싶습니다. file 24134
54 H2/O2 플라즈마에 대해서 질문드립니다. 꼭 답변점... [1] 24323
53 플라즈마가 불안정한대요.. 24365
52 Reflrectance power가 너무 큽니다. [1] 24512
51 ICP Source에서 RF Source Power에 따른 위상차와 임피던스 변화 문의 [1] 24525
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49 RF 플라즈마 챔버 내부에서 모션 구동 [1] 24596
48 PECVD 매칭시 Reflect Power 증가 [2] 24735
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