Others ECR plasma 장비관련 질문입니다.
2010.10.18 17:35
안녕하세요, 저는 한국과학기술원 석사과정에 재학중인 최선진입니다.
홈페이지에서 plama를 이용한 흥미로운 연구를 하고 있는것 잘 살펴 보았습니다.
다름이 아니라 장비에 관하여 궁금한 점이 있어서, 메일로 질문을 드릴려다가 이곳에 남깁니다.
ECR(electron cyclotron resonance) plama에 관한 것인데요, 혹시 이장비를 이용하여 oxidation을 할 수 있을까요?
특히, 금속 물질을 oxidation하기 위함입니다.
답변부탁드립니다.
점점 차가워지는 날씨에 감기조심하십시오.
감사합니다.
최선진 올림.
댓글 2
번호 | 제목 | 조회 수 |
---|---|---|
공지 | [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [266] | 76685 |
공지 | Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 | 20152 |
공지 | 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. | 57159 |
공지 | kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 | 68680 |
공지 | 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] | 92216 |
146 | 플라즈마를 이용한 폐기물 처리 | 19640 |
145 | smsith chart 공식 유도하는 방법? | 19657 |
144 | DC SPT 문의 | 19680 |
143 | Noise 문제, 탐침에 의한 식각 플라즈마의.. | 19685 |
142 | cross section 질문 [1] | 19707 |
141 | DCMagnetron Sputter에서 (+)전원 인가시 | 19710 |
140 | PM을 한번 하시죠 | 19726 |
139 | 대기압 상태의 플라즈마 측정 | 19728 |
138 | 상압플라즈마에서 온도와의 관계를 알고 싶습니다. | 19758 |
137 | 에쳐장비HF/LF 그라운드 관련 [1] | 19774 |
136 | [질문] 석영 parts로인한 특성 이상 [1] | 19833 |
135 | CCP의 Vp가 ICP의 Vp보다 높은 이유 | 20007 |
134 | 석영이 사용되는 이유? [1] | 20015 |
133 | 플라즈마 진동수와 전자온도 | 20036 |
132 | Sputter 시에 Gas Reaction 에 대해 문의 드립니다. | 20203 |
131 | DBD플라즈마와 플라즈마 impedance | 20205 |
130 | 플라즈마 matching | 20231 |
129 | 형광등과 플라즈마 | 20245 |
128 | 안녕하세요. GS플라텍 지성훈입니다. [1] | 20258 |