Ion/Electron Temperature 플라즈마 온도
2004.06.21 15:18
플라즈마 온도
질문은 플라즈마의 온도가 높은데 어떻게 반응기안에 존재할 수 있는가입니다.
이 질문에는 이전에 답을 드린적이 있어요. 수록된 글을 참고하기 바라며 짧은 답을 드립니다.
반응기 내에서으 플라즈마 밀도는 대기중의 공기에 비해서 매우 낮아요. 예를 들어 반응기 내에서 플라즈마 밀도는 단위 cm3당
10에 8-13승 정도 있었요. 이에 반해서 공기 1기압에는 약 10에 19승개 정도의 입자가 존재하고 있어요. 따라서 플라즈마 입자의
온도가 1도에서 10000도(1eV)로 높아져도 우리가 대기중의 공기 온도 1도(1K) 변화에 비하면 거의 그 변화를 느끼기 힘들겠지요.
이같은 이유로 인해서 플라즈마의 온도가 높다하더라도 반응기의 전체온도가 플라즈마 온도까지 높아질 수는 없고 반응기는 무사
합니다. 하지만 대기압 플라즈마, 즉, 플라즈마 토치나 spray등에서는 플라즈마와 그 주변의 공기의 온도가 모두 높아서 토치에서
발생되는 플라즈마 열을 이용하여 철제 강판을 절단하거나 합니다. 이때의 플라즈마 밀도는 낮아도 주변 공기입자와 많은 충돌
로 인해서 주변 공기입자의 온도를 수천도까지 높이게 되어서 접촉하는 물질을 용융시키게 되는 것입니다. 따라서 이때에는 플라즈마
토치의 팁등은 잘 녹아 소모되기도 합니다.
계속 플라즈마 온도에 대해 관심을 가져보세요. 플라즈마의 특성중에서 플라즈마의 온도에 관한 관심은 매우 중요한 연구분야입니다.
댓글 0
번호 | 제목 | 조회 수 |
---|---|---|
공지 | [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [265] | 76543 |
공지 | Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 | 20078 |
공지 | 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. | 57116 |
공지 | kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 | 68615 |
공지 | 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] | 91697 |
143 | 기판 위에서 Radical의 운동역학에 관하여 질문드립니다. [2] | 692 |
142 | 플라즈마 절단시 C와 N의 결합가능성 [2] | 689 |
141 | center to edge 문제를 극복하기 위한 방법 [1] | 687 |
140 | 정전척의 chucking voltage 범위가 궁금합니다. [1] | 678 |
139 | 안녕하세요. 플라즈마 기체분자종에 따른 기판charing정도차이 문의 [1] | 676 |
138 | RF 주파수에 따른 차이점 [1] | 675 |
137 | 접착력을 위한 플라즈마 처리 관련 질문입니다 [1] | 673 |
136 | 플라즈마 진단 공부중 질문 [1] | 671 |
135 | [재질문]에칭에 필요한 플라즈마 가스 [1] | 661 |
134 | RF Frequency 가변과 FORWARD POWER의 상관관계 [2] | 652 |
133 | RF magnetron sputtering시 플라즈마 off현상 [1] | 651 |
132 | 반도체 METAL ETCH 시 CH4 GAS의 역할. [1] | 650 |
131 | analog tuner관련해서 질문드립니다. [1] | 650 |
130 | 주파수 증가시 플라즈마 밀도 증가 [1] | 641 |
129 | Polymer Temp Etch [1] | 635 |
128 | Dusty Plasma의 진단에 관해서 질문드립니다. [1] | 633 |
127 | RPC CLEAN 시 THD 발생 [1] | 629 |
126 | 주파수 변화와 Plasma 온도 연관성 [1] | 617 |
125 | 플라즈마 기본 사양 문의 [1] | 614 |
124 | 챔버 시즈닝에 대한 플라즈마의 영향성 [1] | 601 |