Others 스퍼터 DC 파워의 High 임피던스가 무슨 의미인가요?
2010.06.21 01:53
안녕하세요?
플라즈마 응용연구실 인원 여러분
저는 성대 박사과정으로 있는 박형식이라고 합니다.
다름이 아니오라 제가 새벽에 실험 중에 갑작스런 현상이 발생한 것에 대해 궁금한 것이 이렇게 질문을 하게 되었습니다.
제가 스퍼터에 대해 실험 중에 DC 파워를 인가하는 중에 DC 파워 디스플레이에 high impedance란 메시지가 떴습니다.
혹시 몰라 일단 DC 파워는 off 시킨 상태이구요.
원인이 정확히 무엇인지 알고 싶습니다.
기타 실험 조건들에 대해서는 아래 적어 놓겠습니다. 확인하시고 답변 주시면 감사하겠습니다.
--> 압력 : 0.5mtorr (Ar 10 sccm), 파워 500W, 온도 240oC, Tilt 각도 : 40 deg, 거리 가변 불가, 5rpm
타겟은 산화물 타겟이며 Al2O3 2wt.% doped ZnO 타겟입니다.
DC 파워는 피에스 플라즈마 SDC1024A 이고 파워 범위는 최대 2kW입니다.
혹 챔버 용량에 비해 가스량이 적으면 문제가 되는 것인지? 아니면 다른 문제인지..알고 싶습니다.
댓글 0
번호 | 제목 | 조회 수 |
---|---|---|
공지 | [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [266] | 76680 |
공지 | Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 | 20152 |
공지 | 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. | 57152 |
공지 | kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 | 68673 |
공지 | 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] | 92189 |
147 | 플라즈마를 통한 정전기 제거관련. [1] | 706 |
146 | 기판 위에서 Radical의 운동역학에 관하여 질문드립니다. [2] | 706 |
145 | CF3의 wavelength가 궁금해서 질문드립니다. [1] | 702 |
144 | 정전척의 chucking voltage 범위가 궁금합니다. [1] | 697 |
143 | 플라즈마 절단시 C와 N의 결합가능성 [2] | 694 |
142 | 접착력을 위한 플라즈마 처리 관련 질문입니다 [1] | 693 |
141 | RF 주파수에 따른 차이점 [1] | 692 |
140 | 플라즈마 진단 공부중 질문 [1] | 684 |
139 | 안녕하세요. 플라즈마 기체분자종에 따른 기판charing정도차이 문의 [1] | 679 |
138 | 주파수 증가시 플라즈마 밀도 증가 [1] | 672 |
137 | 반도체 METAL ETCH 시 CH4 GAS의 역할. [1] | 672 |
136 | [재질문]에칭에 필요한 플라즈마 가스 [1] | 668 |
135 | RF magnetron sputtering시 플라즈마 off현상 [1] | 662 |
134 | analog tuner관련해서 질문드립니다. [1] | 656 |
133 | Polymer Temp Etch [1] | 651 |
132 | Dusty Plasma의 진단에 관해서 질문드립니다. [1] | 635 |
131 | RPC CLEAN 시 THD 발생 [1] | 632 |
130 | 플라즈마를 알기 위해선 어떤 과목을 공부해야 할까요? [1] | 627 |
129 | 주파수 변화와 Plasma 온도 연관성 [1] | 623 |
128 | 플라즈마 기본 사양 문의 [1] | 615 |