Matcher 안녕하세요. RF Matching에 관한 질문입니다.

2011.01.03 12:29

한영일 조회 수:47764 추천:72

이제 막 Plasma라는 것에 발을 딛은 초보직장인인데요.

Mather장비는 A사 제품을 쓰고 있는데 항상 Matching test를 할때마다

tune과 load값이라는 것을 조정하여 맞추더군요.

솔직히 이 두개값에 대한 정의에 대해서도 잘모르겠고, 어떻게 조정을 하여

맞추는지 매우 궁금합니다. 결과적으로는 Plasma가 잘 발생하게 하기 위한 방법이겠지만

이해하기 쉽게 설명하여 주시면 매우 감사하겠습니다.

번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [265] 76543
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 20078
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 57116
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 68615
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 91697
143 기판 위에서 Radical의 운동역학에 관하여 질문드립니다. [2] 692
142 플라즈마 절단시 C와 N의 결합가능성 [2] 689
141 center to edge 문제를 극복하기 위한 방법 [1] 687
140 정전척의 chucking voltage 범위가 궁금합니다. [1] 678
139 안녕하세요. 플라즈마 기체분자종에 따른 기판charing정도차이 문의 [1] 676
138 RF 주파수에 따른 차이점 [1] 675
137 플라즈마 진단 공부중 질문 [1] 673
136 접착력을 위한 플라즈마 처리 관련 질문입니다 [1] 673
135 [재질문]에칭에 필요한 플라즈마 가스 [1] 661
134 RF Frequency 가변과 FORWARD POWER의 상관관계 [2] 652
133 RF magnetron sputtering시 플라즈마 off현상 [1] 651
132 반도체 METAL ETCH 시 CH4 GAS의 역할. [1] 650
131 analog tuner관련해서 질문드립니다. [1] 650
130 주파수 증가시 플라즈마 밀도 증가 [1] 641
129 Polymer Temp Etch [1] 635
128 Dusty Plasma의 진단에 관해서 질문드립니다. [1] file 633
127 RPC CLEAN 시 THD 발생 [1] 629
126 주파수 변화와 Plasma 온도 연관성 [1] 617
125 플라즈마 기본 사양 문의 [1] 614
124 챔버 시즈닝에 대한 플라즈마의 영향성 [1] 601

Boards


XE Login