Plasma in general Frequnecy에 따라 플라즈마 영역이 달라질까요?
2018.12.26 15:02
PLASMA SPACING은 고정한채 Frequency만 조절하여 플라즈마 세로 영역을 확장할 수 있을까요?
Frequecny가 low일수록 이온의 움직일 수 있는 시간이 늘어 이온이 아래위로 더 움직일 수 있을거 같은데
이를 증명할 수 있는 방법이나, 이 사실에 대해 아시는 분 답변 부탁드립니다.
번호 | 제목 | 조회 수 |
---|---|---|
공지 | [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [268] | 76712 |
공지 | Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 | 20168 |
공지 | 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. | 57164 |
공지 | kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 | 68688 |
공지 | 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] | 92255 |
148 | 기판 위에서 Radical의 운동역학에 관하여 질문드립니다. [2] | 708 |
147 | 플라즈마를 통한 정전기 제거관련. [1] | 707 |
146 | CF3의 wavelength가 궁금해서 질문드립니다. [1] | 703 |
145 | 정전척의 chucking voltage 범위가 궁금합니다. [1] | 698 |
144 | RF 주파수에 따른 차이점 [1] | 696 |
143 | 접착력을 위한 플라즈마 처리 관련 질문입니다 [1] | 695 |
142 | 플라즈마 절단시 C와 N의 결합가능성 [2] | 694 |
141 | 플라즈마 진단 공부중 질문 [1] | 687 |
140 | 안녕하세요. 플라즈마 기체분자종에 따른 기판charing정도차이 문의 [1] | 679 |
139 | 반도체 METAL ETCH 시 CH4 GAS의 역할. [1] | 679 |
138 | 주파수 증가시 플라즈마 밀도 증가 [1] | 674 |
137 | [재질문]에칭에 필요한 플라즈마 가스 [1] | 669 |
136 | RF magnetron sputtering시 플라즈마 off현상 [1] | 664 |
135 | Polymer Temp Etch [1] | 659 |
134 | analog tuner관련해서 질문드립니다. [1] | 657 |
133 | Dusty Plasma의 진단에 관해서 질문드립니다. [1] | 636 |
132 | 플라즈마를 알기 위해선 어떤 과목을 공부해야 할까요? [1] | 634 |
131 | RPC CLEAN 시 THD 발생 [1] | 633 |
130 | 주파수 변화와 Plasma 온도 연관성 [1] | 624 |
129 | 플라즈마 기본 사양 문의 [1] | 615 |
게시판의 plasma in general 항목에서 그 이유를 찾을 수 있지 않을까 합니다. 확인해 보세요. 참고로, plasma heating은 electron을 표면 반응은 ion을 활용합니다. 또한 각각의 열운동 특성이 다름으로 thermal velocity가 다르며, 이에 따라서 rf 시간동안 반응할 수 있는 거리를 추론해 볼 수가 있고, 이 기반으로 전극 gap 사이에서 플라즈마의 입자들이 얼마나 움직일 수 있는가를 따져 볼 수가 있겠습니다.