Plasma in general 산소 플라즈마에 대한 질문입니다...
2018.11.15 10:26
이제 막 플라즈마에 대해 공부하고 있는 학생입니다.
산소와 아르곤 플라즈마를 이용해 물질을 처리하려고 하는데요
실험전에 아르곤플라즈마와 산소플라즈마를 조금씩 섞어줄 떄 온도 변화를 먼저 측정해 봤었는데요
산소를 섞어줄수록 중심으로부터 안테나부근의 온도들은 아르곤만 있었을 때보다 떨어졌으나
거의 챔버의 끝에서는 오히려 산소플라즈마를 섞은 것이 온도가 더 높게 측정되었습니다..
이유가 무엇일까요..?
댓글 0
| 번호 | 제목 | 조회 수 |
|---|---|---|
| 공지 | [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [266] | 76683 |
| 공지 | Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 | 20152 |
| 공지 | 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. | 57155 |
| 공지 | kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 | 68675 |
| 공지 | 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] | 92189 |
| 147 | 플라즈마를 통한 정전기 제거관련. [1] | 706 |
| 146 | 기판 위에서 Radical의 운동역학에 관하여 질문드립니다. [2] | 706 |
| 145 | CF3의 wavelength가 궁금해서 질문드립니다. [1] | 702 |
| 144 | 정전척의 chucking voltage 범위가 궁금합니다. [1] | 697 |
| 143 | 플라즈마 절단시 C와 N의 결합가능성 [2] | 694 |
| 142 | 접착력을 위한 플라즈마 처리 관련 질문입니다 [1] | 693 |
| 141 | RF 주파수에 따른 차이점 [1] | 692 |
| 140 | 플라즈마 진단 공부중 질문 [1] | 684 |
| 139 | 안녕하세요. 플라즈마 기체분자종에 따른 기판charing정도차이 문의 [1] | 679 |
| 138 | 반도체 METAL ETCH 시 CH4 GAS의 역할. [1] | 673 |
| 137 | 주파수 증가시 플라즈마 밀도 증가 [1] | 672 |
| 136 | [재질문]에칭에 필요한 플라즈마 가스 [1] | 668 |
| 135 | RF magnetron sputtering시 플라즈마 off현상 [1] | 662 |
| 134 | analog tuner관련해서 질문드립니다. [1] | 656 |
| 133 | Polymer Temp Etch [1] | 651 |
| 132 |
Dusty Plasma의 진단에 관해서 질문드립니다.
[1]  | 635 |
| 131 | RPC CLEAN 시 THD 발생 [1] | 632 |
| 130 | 플라즈마를 알기 위해선 어떤 과목을 공부해야 할까요? [1] | 627 |
| 129 | 주파수 변화와 Plasma 온도 연관성 [1] | 623 |
| 128 | 플라즈마 기본 사양 문의 [1] | 615 |