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공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 20172
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 57166
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 68696
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 92274
129 플라즈마 기본 사양 문의 [1] 615
128 ICP Dry Etch 설비 DC bias Hunting 관련 질문드립니다. [1] 613
127 진공수준에 따른 RF plasma 영향 관련 질문 [1] file 609
126 기판표면 번개모양 불량발생 [1] 609
125 플라즈마 샘플 위치 헷갈림 [1] 604
124 plasma 공정 중 색변화 [1] 604
123 OES 파장 관련하여 질문 드립니다. [1] 603
122 N2 GAS를 이용한 Plasma에 대한 질문 [1] 598
121 프리쉬스에 관한 질문입니다. [1] 596
120 RF Sputtering Target Issue [2] file 595
119 Co-relation between RF Forward power and Vpp [1] 593
118 연속 Plasma시 예상되는 문제와 횟수를 제한할 경우의 판단 기준 [1] file 592
117 수중 속 저온 플라즈마 방전 관련 질문 드립니다 [2] file 589
116 간단한 질문 몇개드립니다. [1] 587
115 OES를 통한 공정 개선 사례가 있는지 궁금합니다. [1] 586
114 Interlock 화면.mag overtemp의 의미 585
113 Plasma Reflect를 관리하는 방법이 있을까요? [1] 579
112 조선업에서 철재절단용으로 사용하는 가스 프라즈마에 대한 질문 [1] 576
111 CCP RIE 플라즈마 밀도 [1] 575
110 활성이온 측정 방법 [1] 572
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