Plasma in general 안녕하세요 DBD 플라즈마 소독 관련질문입니다.
2021.10.27 15:55
안녕하세요. 감사하게도 플라즈마에 관한 수많은 질문과 답변들을 읽으며 많은 도움을 받고 있습니다.
저는 수도권 내 대학 기계공학과에 재학중인 학부연구생입니다.
다름이 아니라, 이번에 새로운 프로젝트를 기획하게 되었는데,
주제는 "DBD플라즈마를 활용한 마스크 소독기"가 되었습니다. 지름 150mm, 높이 200mm 수준의 실린더형 제품으로 구상중입니다.
드릴 질문은 다음과 같습니다.
1. DBD plasma generator 설계에 있어 플라즈마 리액턴트에 관한 조언
2. Parallel Plates 혹은 원통형의 DBD 플라즈마를 구성함에 있어 중요한 공정 변수들(rf generator, 전극과 유전체의 재료 properties, 전극과 유전체 사이 간격, 원통의 길이 등)
3. 소독이 진행 되어질 챔버(폴리머 or 메탈)에관한 전문가님들의 조언이 필요하게 되어 글을 작성하게 되었습니다.
바쁘신 와중에 읽어주셔서 감사합니다.
번호 | 제목 | 조회 수 |
---|---|---|
공지 | [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [268] | 76726 |
공지 | Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 | 20181 |
공지 | 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. | 57167 |
공지 | kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 | 68697 |
공지 | 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] | 92276 |
129 | 형광등과 플라즈마 | 20247 |
128 | 안녕하세요. GS플라텍 지성훈입니다. [1] | 20259 |
127 | 상압 플라즈마 방전에 관한 문의 [1] | 20311 |
126 | CCP형, 진공챔버 내에서의 플라즈마... [1] | 20380 |
125 | Langmuir probe tip 재료 | 20408 |
124 | RIE장비 에서 WALL 과 TOP 온도 | 20421 |
123 | wafer 전하 소거: 경험 있습니다. | 20480 |
122 | 확산펌프 | 20516 |
121 | 플라즈마 진단법에 대하여 [1] | 20575 |
120 | Lissajous figure에 대하여.. | 20621 |
119 | Three body collision process | 20649 |
118 | 교재구입 | 20725 |
117 | 이온주입량에 대한 문의 | 20731 |
116 | IEDF EQP에 대한 답변 | 20806 |
115 | plasma cleanning에 관하여.... | 20833 |
114 | UBM 스퍼터링 장비로... [1] | 20905 |
113 | RF plasma에 대해서 질문드립니다. [2] | 20963 |
112 | 대기압플라즈마 진단 | 21025 |
111 | 플라즈마란? | 21056 |
110 | 전자파 누설에 관해서 질문드립니다. [1] | 21110 |
저희 보다는 광운대학교 최은하교수님 연구실에서 좀 더 좋은 답변을 구할 수 있을 것 같습니다. 또는 핵융합 연구소의 김성봉박사님 연구 팀에 문의드려 보시길 추천합니다. 방전기가 가지는 임피던스와 가용 주파수 조건에서 matching 의 필요성 여부를 확인해 보세요. 플라즈마가 발생되면 상압 플라즈마의 임피던스더 어떻게 알 수 있는가 같이 공부해 보면 좋을 것 같습니다.