안녕하세요. 전남대학교 정세훈이라고 합니다.
몇가지 궁금한점이 있어 질문드립니다

a)       the typical energy of sputtered Cu atoms if the Ar ion has an energy of 500 eV.

b)       the typical energy of sputtered Cu atoms if the Ar ion has an energy of 5000 eV

Cu원자의 에너지값이 어떻게되나요? 여러논문을 검색해보았는데
thompson distribution E/(E+Eb) 에 대해서는 나오는데.. 계산이 잘 안돼서요..
--------------------
위의 질문에 대한 참고 자료를 군산대학교 주정훈교수님께서 올려 주셨습니다. 그림과 같이 Kr 입자 조사에 의한 스퍼터링된 Cu의 에너지 및 이탈 속도 함수를 보여주고 있습니다. Ar과 조사 입자의 질량 차이가 있을 뿐 이를 고려한다면 거의 현상은 유사할 것으로 판단됩니다. 이 자료는 교재에 있다고 하니 참고하시기 바랍니다. 

번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [265] 76539
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 20076
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 57115
» kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 68613
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 91695
83 PECVD Uniformity [1] 466
82 코로나 방전 처리 장비 문의드립니다. [1] 462
81 plasma striation 관련 문의 [1] file 461
80 Remote plasma source의 주파수 400kHz 이유 [1] 459
79 AlCu Dry Etch시 Dust 잔존문제 455
78 플라즈마 전원 공급장치에 대한 질문 [1] 452
77 Fluoride 스퍼터링 시 안전과 관련되어 질문 [1] 450
76 안녕하세요 DBD 플라즈마 소독 관련질문입니다. [1] 445
75 glass에 air plasma 후 반응에 대해 질문이 있습니다. [1] 441
74 remote plasma 를 이용한 SiO2 etching 질문드립니다. [1] 440
73 Plasma 표면개질에 대해 질문드립니다. [1] 440
72 KM 모델의 해석에 관한 질문 [1] 438
71 스퍼터링 Dep. 두께 감소 관련 문의사항 [1] 437
70 크룩수의 음극선도 플라즈마의 현상인가요? [1] 429
69 VPS 공정에서 압력변수관련 질문입니다. [1] 426
68 H-field 측정위치에 따른 H Field MAP 변화 관련 [1] 424
67 PDP 방전갭에 따른 휘도에 관해 질문드려요 [1] 423
66 Sheath와 Plasma Bulk에 걸리는 전압 관련 문의 [1] 420
65 ISD OES파형 관련하여 질문드립니다. [1] 420
64 안녕하세요 CLEAN GAS 관련 질문이 있습니다. [1] 405

Boards


XE Login