질문 ::

대기압 플라즈마에서 lanmuir probe로 분석할 수 있는지 궁금합니다.
온도가 높아서 탐침이 탄다고 하던데 해결할 수 있는지 궁금합니다.
답변 부탁드리겠습니다

답변 ::

탐침을 이용한 대기압 진단은 한마디로 말해서 매우 어렵습니다
다음과 같은 문제가 해결되어야 합니다.
1. 충돌성이 매우 높은 플라즈마의 특성이 대기압 플라즈마의 특징중에 하나입니다.
따라서 충돌성이 매우 높은 플라즈마에서의 쉬스 형성에 관한 문제의
해결 (쉬스 경계에서의 이온의 속도 정의)
2. 쉬스 안에서 이온화가 일어나는 정도에 따라서 탐침에 들어오는
전류량이 바뀌게 됩니다. 이 값에 대한 보정
3. 탐침이 입사되는 전류에 의해서 고온으로 될때 탐침에서 방출되는
열전자의 효과 보정 (많은 경우 이 값이 이온 전류로 오인되어 무리한
해석을 하고 있는 경우가 많습니다).
등등..

위의 문제들의 일부는 해결이 되고 있기도 합니다만 아직까지 이 모든
문제를 해결했다고는 보이지 않습니다. 하지만 옳지 못한 자료라 하더라도 탐침에 의한 자료 취득을 시도할 필요는 있습니다. 사용을 주저하지는 않기를 바랍니다.

번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [317] 83118
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 22048
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 58812
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 70467
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 96530
104 역 수소폭탄에 대하여… [핵융합에 필요한 요소들] 16052
» 대기압 플라즈마 진단 [탐침을 통한 대기압 진단의 문제점] 21062
102 Self Bias [Self bias와 플라즈마 특성 인자] 36462
101 No. of antenna coil turns for ICP [안테나 turn 수와 플라즈마 발생 효율] 23237
100 입력전력에 따른 플라즈마 밀도 변화 (ICP/CCP) [ICP와 CCP의 heating] 23207
99 CCP에서 Area effect(면적)? [Self bias와 sheath capacitance] 21511
98 Ar plasma와 O2 plasma 차이??(Matching Network) [Matching Q factor와 negative ion] 36182
97 self Bias voltage [Self bias와 mobility] 24259
96 manetically enhanced plasmas 21712
95 Splash 발생 및 감소 방안은 없는지요? [Splash와 TG Maker] 18113
94 주변의 플라즈마에 대하여 [Neon sign과 태양] 18699
93 플라즈마진단법엔 어떤것이? [접촉/비접촉식 진단법] 18794
92 최적의 펌프는? [Turbo Pump와 corrosion free] 18594
91 plasma cleanning에 관하여 [Sputtering과 Etch] 20911
90 ICP 식각에 대하여… [Electronegative plasma] 17014
89 plasma와 arc의 차이는? [Arc의 temperature] 25215
88 플라즈마 상태와 RF MATCHING관계 문의 사항 [Matching과 particle] 27811
87 상압플라즈마에서 온도와의 관계를 알고 싶습니다. [상압 플라즈마, Remote Plasma] 19844
86 우주 플라즈마 [Plasma의 온도와 밀도] 15418
85 laser induced plasma의 측정에 관하여 [Ablation plasma와 resolution] 14771

Boards


XE Login