Others Tribo-Plasma 에 관해서 질문드리고 싶습니다.
2017.11.24 12:13
Diamond tip으로 insulator, semiconductor, conductor를 긁어서 깨뜨리는 경우, 3 경우 모두 플라즈마가 생기고 이 때 insulator>semiconductor>conductor 순으로 electron 의 에너지가 높은 것으로 알려져있습니다.
( insulator : several hundred to keV, semiconductor : 0~100 eV, conductor : negligible )
저는 Ceramic Powder (Y2O3 ~900nm) 를 아음속으로 기판에 분사시켜서 증착하는 Aerosol Deposition 중에도 플라즈마가 생기는 것을 PMT 센서로 계측하고, 이를 증착에 미치는 영향과 연관시키려고 합니다.
질문 사항은 다음과 같습니다.
1. 일반적으로, E-field를 가해서 플라즈마를 생성할 때, electron energy 가 어느 정도 쯤 되나요?
Tribo-Plasma 가 발생하면서 생겼다고 주장하는 keV의 높은 에너지의 전자도 Tribo-Plasma에 의한 것으로 생각할 수 있을까요? 아니라면 다른 어떤 요인이 있을까요?
2. 상온 대기압 하에서 수 keV의 전자가 방출된다면 이 전자는 몇 m 의 거리를 움직일 수 있을까요? 그것을 대략적으로 계산할 수 있는 식은 어떤 것이 있을까요?
3. 플라즈마가 생겼다면, light emission 을 동반할 것이기 때문에, 200~780 nm 의 광을 측정할 수 있는 PMT 센서로 계측 중입니다. PMT Sensor가 기판으로부터 약 3~4cm 정도 떨어져있는데, 특정 조건(증착 조건 : 분말이 깨지는 조건)에서 오작동을 합니다. 수 keV의 전자가 방출되었을 때 계측기에 영향을 미칠 수 있을까요?
4. 수 um 영역에서 플라즈마가 생겼을 경우 이 때 생성되는 열에너지가 어느 정도가 될까요? 온도가 어느 정도로 증가할까요?
Ceramic 이 깨질 때 형성되는 E-field 는 약 4.4*10^5 V/cm 라고 합니다. 주변 분위기는 Air 로 유지되고 있습니다.
감사합니다.
댓글 0
번호 | 제목 | 조회 수 |
---|---|---|
공지 | [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [234] | 75740 |
공지 | Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 | 19424 |
공지 | 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. | 56651 |
공지 | kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 | 67974 |
공지 | 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] | 90165 |
697 | 크룩수의 음극선도 플라즈마의 현상인가요? [1] | 411 |
696 | Plasma Reflect를 관리하는 방법이 있을까요? [1] | 417 |
695 | KM 모델의 해석에 관한 질문 [1] | 423 |
694 | 플라즈마 세정처리한 PCB, Lead Frame 재활용 방법 [1] | 424 |
693 | Fluoride 스퍼터링 시 안전과 관련되어 질문 [1] | 425 |
692 | glass에 air plasma 후 반응에 대해 질문이 있습니다. [1] | 426 |
691 | 안녕하세요 DBD 플라즈마 소독 관련질문입니다. [1] | 426 |
690 | plasma 공정 중 색변화 [1] | 428 |
689 | 자외선 세기와 결합에너지에 대해 질문드립니다. [1] | 431 |
688 | magnetic substrate와 플라즈마 거동 [3] | 435 |
687 | self bias [1] | 435 |
686 | 반도체 METAL ETCH 시 CH4 GAS의 역할. [1] | 438 |
» | Tribo-Plasma 에 관해서 질문드리고 싶습니다. | 442 |
684 | 코로나 방전 처리 장비 문의드립니다. [1] | 442 |
683 | 수중방전에 대해 질문있습니다. [1] | 451 |
682 | 산소 플라즈마에 대한 질문입니다... | 454 |
681 | (PAP)plasma absorption probe관련 질문 [1] | 456 |
680 |
Chamber 내 Pressure와 Fluid Density, Residence Time 거동
[1] ![]() | 459 |
679 | OES를 통한 공정 개선 사례가 있는지 궁금합니다. [1] | 463 |
678 | ICP Dry Etch 설비 DC bias Hunting 관련 질문드립니다. [1] | 464 |