OES OES 파장 관련하여 질문 드립니다.
2022.10.26 13:46
안녕하세요 전자공학과 4학년으로 재학하며, 반도체 공정을 진단하는 회사에서 인턴을 진행하고 있습니다.
OES 정보를 이용하여 반도체 공정 데이터를 분석하는 도중, OES 분석을 진행할 때, 특정원소에 대한 정보가 필요한 상황입니다.
해당 게시글에서 김곤호 님의 "저희 홈페이지에 링크되어 있는 사이트에서 자료를 찾아 보세요. 국내에서는 핵융합 연구소 기반기술 연구부(송미영박사님)에서 자료를 제공합니다. 문의드려 보세요. "
라는 답변을 참고하여 송미영 박사님께 컨택을 드리고 싶은데 한국핵융합에너지연구원 홈페이지에 정보가 부족하여 어려움을 겪고 있습니다.
혹시 "저희 홈페이지에 링크되어 있는 사이트"라고 말씀하신 곳의 자세한 정보나, 송미영 박사님 컨택 경로에 대해 자세히 알 수 있을까요?
번호 | 제목 | 조회 수 |
---|---|---|
공지 | [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [234] | 75763 |
공지 | Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 | 19449 |
공지 | 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. | 56669 |
공지 | kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 | 68021 |
공지 | 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] | 90304 |
697 | 크룩수의 음극선도 플라즈마의 현상인가요? [1] | 411 |
696 | Plasma Reflect를 관리하는 방법이 있을까요? [1] | 421 |
695 | KM 모델의 해석에 관한 질문 [1] | 423 |
694 | Fluoride 스퍼터링 시 안전과 관련되어 질문 [1] | 425 |
693 | glass에 air plasma 후 반응에 대해 질문이 있습니다. [1] | 426 |
692 | 플라즈마 세정처리한 PCB, Lead Frame 재활용 방법 [1] | 426 |
691 | 안녕하세요 DBD 플라즈마 소독 관련질문입니다. [1] | 427 |
690 | plasma 공정 중 색변화 [1] | 432 |
689 | 자외선 세기와 결합에너지에 대해 질문드립니다. [1] | 435 |
688 | magnetic substrate와 플라즈마 거동 [3] | 437 |
687 | Tribo-Plasma 에 관해서 질문드리고 싶습니다. | 442 |
686 | self bias [1] | 442 |
685 | 코로나 방전 처리 장비 문의드립니다. [1] | 443 |
684 | 반도체 METAL ETCH 시 CH4 GAS의 역할. [1] | 447 |
683 | 수중방전에 대해 질문있습니다. [1] | 454 |
682 | 산소 플라즈마에 대한 질문입니다... | 455 |
681 | (PAP)plasma absorption probe관련 질문 [1] | 457 |
680 |
Chamber 내 Pressure와 Fluid Density, Residence Time 거동
[1] ![]() | 463 |
679 | OES를 통한 공정 개선 사례가 있는지 궁금합니다. [1] | 466 |
678 |
RF Sputtering Target Issue
[2] ![]() | 468 |
송박사님은 국가핵융합연구원의 플라즈마 기술연구소에 계십니다. 발표 논문등에서 이메일 주소등의 검색이 가능할 것입니다. 개인 정보는 공개해 드리기가 힘든 점 양해 바랍니다.
광정진단으로 광학센서를 사용하는 경우, 타킷 공정의 이해가 선행되고 타킷 공정에서 주요 기여 인자를 플라즈마 내 화학 반응 중에서 원자와 분자의 역할을 구분해서 타킷 공정에 기여 종을 선택하는 것으로 시작합니다. 주요 기여 종 중에서 광학 신호의 성질과 센서의 특성이 매칭이 되어야 진단 신호로서 기능을 하게 됩니다. 이는 현상학 기반의 진단 기술이라 하며, 이 과정을 생략하고 데이터로 부터 기여 신호를 찾는 일은 데이터 기반의 공정진단 기술에 해당합니다. 최근에는 이 둘을 결합한 데이터+플라즈마광학 모델 기반의 진단기술이
개발되고 있습니다.
아울러 먼저 사용하는 oes 를 Calibration 하시면서 이참에서 사용하는 센서 스팩에 대한 이해를 하시면 좋습니다. 여러 경로 및 OES 센서 회사 홈페이지 등에서 자료를 찾으실 수 있을 것입니다. 일단 센서 스팩을 아시고 진단을 개시하는 수순을 추천합니다.