안녕하세요. 반도체 회사에서 근무하고 있는 엔지니어 입니다.

최근 설비이슈로 rf tune position 상승의 문제가 있는데 load는 변동이 없는데 유독 tune position만 상승합니다. 이때 Vrms는 tune과 반비례로 하강하는 trend를 보이는데, 


1. tune과 Vrms 의 상관관계가 어떻게 되나요?

2. 유독 tune이 상승하는 원인을 어디서부터 찾아야 할까요?


바쁘신 와중에 항상 도움을 주셔서 감사합니다.

번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [265] 76543
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 20078
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 57116
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 68615
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 91697
211 low pressure 영역에서 아킹이 더 쉽게 발생하는 이유에 관해 문의드립니댜. [1] 1336
210 electron energy distribution에 대해서 질문드립니다. [2] 3167
209 안녕하세요 플라즈마의 원초적인 개념에서 궁금한 점이 생겨서 질문드립니다. [1] 842
208 RIE에서 O2역할이 궁금합니다 [4] 3668
207 Decoupled Plasma 관련 질문입니다. [1] 1040
206 플라즈마 용어 질문드립니다 [1] 776
205 압력과 플라즈마 크기의 관계가 궁금합니다. [1] 28412
204 Fluoride 스퍼터링 시 안전과 관련되어 질문 [1] 450
203 플라즈마 기술관련 문의 드립니다 [1] 6416
202 플라즈마볼 제작시 [1] file 2214
201 Shield 및 housing은 ground 와 floating 중 어떤게 더 좋은지요 [2] 926
200 PECVD 공정 진행중 chamber wall 부분에서 보이는 plasma instability 관련 질문 드립니다. [1] 1437
199 플라즈마 PIC 질문드립니다. [1] 10370
198 진공장치 챔버내 산소 또는 수분 제거 방법에 대해 [1] 3673
197 자외선 세기와 결합에너지에 대해 질문드립니다. [1] 469
196 플라즈마 입자 운동 원리(전자기장에서) [1] 1734
195 플라즈마 살균 방식 [2] 11416
194 RF/LF에 따른 CVD 막질 UNIFORMITY [1] 2342
193 O2 plasma, H2 plasma 처리 관련 질문이 있습니다. [1] 6428

Boards


XE Login