Others 터보분자펌프에 대해서 질문 좀 하고 싶어요!
2009.09.17 11:57
목포대학교에서 플라즈마 응용 박막에 대해 연구하는 학생입니다.. 궁금한게 있어서요~ 현재 저희 장비의 2차 펌프는 T.M.P입니다. 음~ 저희는 장비 실험이 끝나고 TMP를 냉각의 이유로 3시간동안~ OFF Time을 주고 전원을 내립니다.. 항상 의문이였거든요~ 꼭 3시간동안 장비를 켜놔야하나? 칠러나 장비가 장동하는데~ 소음이 심하다라는게 거슬리고 또 TMP를 냉각하는 3시간동안 저의 시간이 자유롭지 못 한것도 하나의 이유이구요! 그래서 한번은 TMP를 분리해 보았습니다.. 근데 통신케이블 과 전원 케이블 ,냉각수 라인 밖에 없더군요... 진공을 해제할때 TMP 스위치를 내리는데~ 그러면 TMP전원은 들어오지 않죠~ 당연히 데이터 이동도 필요없고 그져 냉각수만 돌려주면 될껏같은데 결론으로 제 생각은요~ 냉각수 1시간만 돌려도 ,TMP는 차가워지는걸 알수잇는데~~ 오일확산펌프처럼 손으로 만져서 차가워지면 꺼도 되나요?? 아니면 냉각이 아닌 어떤 다른 이유가 있나요?? 궁금해 죽겟습니다... 도와주세요
댓글 0
| 번호 | 제목 | 조회 수 |
|---|---|---|
| 공지 | [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [219] | 75419 |
| 공지 | Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 | 19152 |
| 공지 | 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. | 56477 |
| 공지 | kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 | 67548 |
| 공지 | 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] | 89331 |
| 36 | RF power에 대한 설명 요청드립니다. [1] | 4857 |
| 35 | RF chamber에서.. particle(부유물) 와 RF reflect power연관성 [1] | 3675 |
| 34 | ICP plasma에서 RF bias에 대한 문의가 있습니다 [2] | 3579 |
| 33 | 진공장치 챔버내 산소 또는 수분 제거 방법에 대해 [1] | 3207 |
| 32 | Bias 관련 질문 드립니다. [1] | 3129 |
| 31 | Gas 별 Plasma 색 관련 질문입니다. [1] | 3047 |
| 30 | 질문있습니다. [1] | 2394 |
| 29 | O2 플라즈마 클리닝 관련 질문 [1] | 1468 |
| 28 | 강의를 들을 수 없는건가요? [2] | 1375 |
| 27 | 플라즈마 내에서의 현상 [1] | 1342 |
| 26 | O2 plasma etching 관련 질문이 있습니다. [1] | 1321 |
| 25 | 플라즈마에서 가속 전압 또는 RF 파워 관련 질문드려요. [1] | 1179 |
| 24 | 플라즈마 관련 교육 [1] | 1125 |
| 23 | Group Delay 문의드립니다. [1] | 1065 |
| 22 | RF Power 인가 시 Gas Ramping Flow 이유 [1] | 1035 |
| 21 | 플라즈마 주파수 예측관련 질문드립니다 [1] | 1033 |
| 20 | 진학으로 고민이 있습니다. [2] | 927 |
| 19 | O2 Plasma 에칭 실험이요 [1] | 899 |
| 18 | 잔류시간 Residence Time에 대해 [1] | 848 |
| 17 | 문의 드립니다. [1] | 805 |