Others Peak RF Voltage의 의미

2004.06.28 01:58

이석환 조회 수:21977 추천:266

질문

안녕하세요...

제가 사용중인 Matching Network 상에 RF Peak Volt가 Display되는데요.
이것의 의미가 궁금하구요, 이 Voltage와 Power와는
어떠한 관계가 있는지 궁금합니다.

감사합니다,.


답변

CCP 나 ICP의 전극이나 안테나에 인가되는 Power은
Current x Voltage 입니다. 여기서 전류나 전압값은 rms 값으로
peak 값의 1/sqrt(2) 값을 뜻하지요. 즉, peak 값은 약 70%에 해당합니다. 따라서 표시되는 전압은 CCP의 경우 power electrode에 인가되는
전압이며 ICP의 경우 안테나에 걸리는 전압의 peak 값입니다. 만일 전류가 일정하다면 전압의 크기가 커지게 되면 당연히 인가 전력이 증가하합니다.  

번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [62] 1689
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 5774
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 49539
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 59751
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [1] 76008
583 플라즈마 물리학책을 읽고 싶습니다. 22637
582 No. of antenna coil turns for ICP 22635
581 안녕하세요. O2 Plasma 관련 질문좀 드리겠습니다. 22588
580 DC glow discharge 22475
579 self Bias voltage 22412
578 입력전력에 따른 플라즈마 밀도 변화 (ICP/CCP) 22393
577 [질문] ICP plasma 를 이용하여 증착에 사용하고 있는데요. [3] 22385
576 MATCHING NETWORK 에서 BACKWARD BIAS 가 생성되는 이유가 무엇 입니까? [3] 22268
575 고온플라즈마와 저온플라즈마 22256
574 [질문] Plasma density 측정 방법 [1] 22253
573 floating substrate 에서 sheath 형성 과정 의문점 [1] 22236
572 pulse plasma 측정을 위한 Langmuir probe 사용 방법 관련.. [1] 22221
571 Dry Etcher 에 대한 교재 [1] 22109
570 plasma와 arc의 차이는? 22081
» Peak RF Voltage의 의미 21977
568 Dry Etch장비에서 Vdc와 Etch rate관계 [1] 21847
567 플라즈마 코팅에 관하여 21822
566 플라즈마 온도 질문 + 충돌 단면적 21671
565 Dry Etcher 내 reflect 현상 [2] 21643
564 펄스바이어스 스퍼터링 답변 21629

Boards


XE Login