Plasma Source Plasma Generator 관련해서요.

2018.10.24 11:25

Elin0503 조회 수:908

안녕하세요.  

플라즈마 관련 직종에서 근무하고 있는 초보 직장인입니다.


한가지 질문 드릴게 있어서요,

Generator 하나를 사용하는데 Cable을 분기 시켜서

두개의 matching box로 가게 가능 할까요?


즉 Generator 하나를 사용하여 각각 다른 위치에 존재하는 Part를 클리닝 하고 싶어서요.

이게 실제 이론적으로 회로상으로 Relay를 줘서 분기 시켜서 

어쩔때는 Mater1으로 가고, 어쩔때는 Matcher2로 가는게 가능할까요?


관련 내용을 찾다가 갑자기 궁금해서 질문 드립니다.

이 게시물을
목록
목록
번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [268] 76712
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 20169
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 57164
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 68692
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 92268
728 PECVD 고온 공정에서 증착 막으로의 열전달 관련 문의드립니다. [1] 329
727 Sheath와 Plasma Bulk에 걸리는 전압 관련 문의 [1] 448
726 chamber에 인가 되는 forward power 관련 문의 [1] 356
725 반도체 METAL ETCH 시 CH4 GAS의 역할. [1] 679
724 Plasma Reflect를 관리하는 방법이 있을까요? [1] 579
723 애칭 후 부산물의 양을 알고 싶습니다. [1] 386
722 화장품 원료의 플라즈마 처리 문의 [1] file 184
721 LXcat Dataset에 따른 Plasma discharge 에 대한 질문입니다. [1] 146
720 플라즈마 공정 후, 친수성으로 변한 표면의 친수성 제거 [1] 392
719 Compressive한 Wafer에 대한 질문 [1] 228
718 [재질문]에칭에 필요한 플라즈마 가스 [1] 669
717 ICP BIPOLAR ESC 관련 이론과 Chuck Force 계산 질문드립니다ICP BIPOLAR ESC 관련 이론과 Chuck Force 계산 질문드립니다 [1] file 782
716 Ashing 공정에 필요한 O2 plasma에 대해 궁금한 점이 있습니다. [1] 1369
715 메틸기의 플라즈마 에칭 반응 메커니즘 [1] 272
714 안녕하세요 CLEAN GAS 관련 질문이 있습니다. [1] 435
713 RIE 식각공정중 발생하는 가스를 예측할 수 있는 메카니즘에 대해 질문하고싶습니다. [1] 354
712 corona model에 대한 질문입니다. [1] 169
711 플라즈마 제균 탈취 가능 여부 [1] 206
710 plasma 공정 중 색변화 [1] 602
709 ISD OES파형 관련하여 질문드립니다. [1] 435
쓰기
태그

Boards

XE Login