Plasma in general 산소 플라즈마에 대한 질문입니다...
2018.11.15 10:26
이제 막 플라즈마에 대해 공부하고 있는 학생입니다.
산소와 아르곤 플라즈마를 이용해 물질을 처리하려고 하는데요
실험전에 아르곤플라즈마와 산소플라즈마를 조금씩 섞어줄 떄 온도 변화를 먼저 측정해 봤었는데요
산소를 섞어줄수록 중심으로부터 안테나부근의 온도들은 아르곤만 있었을 때보다 떨어졌으나
거의 챔버의 끝에서는 오히려 산소플라즈마를 섞은 것이 온도가 더 높게 측정되었습니다..
이유가 무엇일까요..?
댓글 0
| 번호 | 제목 | 조회 수 |
|---|---|---|
| 공지 | [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [234] | 75763 |
| 공지 | Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 | 19449 |
| 공지 | 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. | 56669 |
| 공지 | kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 | 68021 |
| 공지 | 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] | 90306 |
| 697 | 크룩수의 음극선도 플라즈마의 현상인가요? [1] | 411 |
| 696 | Plasma Reflect를 관리하는 방법이 있을까요? [1] | 421 |
| 695 | KM 모델의 해석에 관한 질문 [1] | 423 |
| 694 | Fluoride 스퍼터링 시 안전과 관련되어 질문 [1] | 425 |
| 693 | glass에 air plasma 후 반응에 대해 질문이 있습니다. [1] | 426 |
| 692 | 플라즈마 세정처리한 PCB, Lead Frame 재활용 방법 [1] | 426 |
| 691 | 안녕하세요 DBD 플라즈마 소독 관련질문입니다. [1] | 427 |
| 690 | plasma 공정 중 색변화 [1] | 433 |
| 689 | 자외선 세기와 결합에너지에 대해 질문드립니다. [1] | 435 |
| 688 | magnetic substrate와 플라즈마 거동 [3] | 437 |
| 687 | Tribo-Plasma 에 관해서 질문드리고 싶습니다. | 442 |
| 686 | self bias [1] | 442 |
| 685 | 코로나 방전 처리 장비 문의드립니다. [1] | 443 |
| 684 | 반도체 METAL ETCH 시 CH4 GAS의 역할. [1] | 447 |
| 683 | 수중방전에 대해 질문있습니다. [1] | 454 |
| » | 산소 플라즈마에 대한 질문입니다... | 455 |
| 681 | (PAP)plasma absorption probe관련 질문 [1] | 457 |
| 680 |
Chamber 내 Pressure와 Fluid Density, Residence Time 거동
[1]  | 463 |
| 679 | OES를 통한 공정 개선 사례가 있는지 궁금합니다. [1] | 466 |
| 678 |
RF Sputtering Target Issue
[2] | 468 |