Deposition PEALD관련 질문

2019.06.21 13:12

베컴 조회 수:1291

안녕하십니까?


현재 에쳐장비 현업에 종사하고 있는데...

PEALD관련논문을 서치중에 있습니다.

PEALD관련 혹시 추천해주실 논문이나 자료가 있다면, 부탁드리겠습니다.

감사합니다.

수고하십시오.

번호 제목 조회 수
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 48630
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 50107
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [1] 55153
503 압력, 유량과 residence time에 대해 질문있습니다. [1] 360
502 Arcing(아킹) 현상 및 local plasma 관련 문의 [1] 1178
501 Ar과 O2 plasma source에 따른 ignition condition에 대하여 질문 있습니다. [1] 471
500 공정플라즈마 [1] 425
499 임피던스 매칭회로 [1] file 1265
498 전쉬스에 대한 간단한 질문 [1] 204
497 CCP기반 power와 Etch rate 관계에 대해 여쭈어드립니다. [3] 462
496 glow 방전 현상과 플라즈마 현상에 궁금하여 글 남깁니다. [2] 304
495 plasma sheath 두께의 영향에 대하여 질문드립니다. [2] 773
494 대학원 진학 질문 있습니다. [2] 415
493 질문있습니다. [1] 963
492 chamber impedance [1] 1259
491 PECVD Precursor 별 Arcing 원인 [1] 557
490 플라즈마 관련 기초지식 [1] 811
489 매쳐에서의 load, tune에 대하여 좀 가르쳐 주세요~ [1] 1290
488 [질문] Plasma 장비에 대한 Monitoring 질문 [2] 474
487 Ion과 Radical의 이동 거리 및 거리에 따른 농도와 증착 품질 관련 [1] 269
486 Matcher의 Load, Tune 영향을 미치는 요소가 궁금합니다. [2] 3415
485 EEDF, IEDF, Cross section관련 질문 [1] 420
484 ICP, CCP 그리고 Ion Implantation 공정 관련 질문 드립니다. [1] 463

Boards


XE Login