플라즈마 응용 연구실의 질문방에 오신 것을 환영합니다! 이 Q&A 게시판에는 2004년부터 플라즈마에 대해 받은 질문과 그 대답이 정리되어 있습니다. 이 방대한 자료 속에서 자신에게 필요한 내용을 더 쉽고 빠르게 찾기 위한 방법을 알려드리겠습니다.

 

 

1. 키워드로 검색하기

 

내게 필요한 정보를 빠르게 찾기 위해서는 먼저 검색창을 이용해봅시다.

 

QA 길잡이 1.png

 

 

위 그림과 같이 질문방 화면 좌측 하단에는 돋보기 아이콘이 있습니다. 이 돋보기 아이콘을 클릭하면 다음과 같이 검색창이 나타납니다.

 

QA 길잡이 2.png

 

자신이 궁금한 내용의 핵심 키워드를 이 검색창에 입력하여 검색해보면 자신이 가진 질문과 유사한 질문 및 그에 대한 답변을 찾을 수 있을 것입니다.

 

 

2. 내용으로 찾아보기

 

QA 길잡이 3.png

 

질문방에 들어오면 위 그림과 같이 여러 개의 탭에 따라 질문과 답변이 분류되어 있는 것을 볼 수 있습니다. 여기서 맨 위의 큰 탭 5개가 Plasma in general 부터 Process까지의 대분류 5가지를 나타내고 있습니다. 한 대분류를 클릭했을 때 대분류 아래에 나타나는 작은 탭들은 그 대분류에 속하는 소분류를 나타내고 있습니다. 만약 키워드 검색만으로는 자신에게 필요한 내용을 찾지 못하였다면, 자신의 질문과 관련된 내용이 있는 탭의 게시물들을 읽어보며 자신에게 필요한 내용을 찾아볼 수 있을 것입니다.

 

아래의 표에는 각 대분류 별 소분류 및 세부 분류가 정리되어 있습니다. 이 글의 첨부 파일 QA_분류_정의및설명.pdf에는 각 분류에 대한 상세한 설명과 참고할 만한 자료가 정리되어 있으니, 부디 첨부파일을 내려받아 읽어보시기 바랍니다.

 

연구 또는 궁금증 해결에 도움이 되는 내용을 찾을 수 있기를 바랍니다.

 

QA category 1.png

 

QA category 2.png

 

QA category 3.png

 

QA category 4.png

 

QA category 5.png

 

 

번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [46] 919
» Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 743
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 49339
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 58632
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [1] 72899
568 연속 plasma 방전시 RF power drop 및 Reflect 발생 [1] 495
567 O2 etch 후 polymer 변성에 관한 문의 file 425
566 ESC Chuck 기능이 Wafer 위에서의 Chemical Bond 생성을 boosting 할 수 있는지 궁금합니다. [1] 4026
565 연면거리에 대해 궁금합니다. [1] 339
564 압력 변화와 Ch Impedance 상관관계 질문 [1] 1030
563 플라즈마볼 제작시 [1] file 355
562 안녕하십니까 파워업체 연구원 입니다. (챔버쪽 임피던스 검출) [1] file 1321
561 Bais 인가 Cable 위치 관련 문의 [1] 320
560 Etcher Chamber Wall에 의도적으로 Polymer를 증착시키고 싶습니다. [2] 2672
559 좁은 간격 CCP 전원의 플라즈마 분포 논문에 대해 궁금한 점이 있습니다. [2] 416
558 알고싶습니다 [1] 306
557 교수님 안녕하세요, icp 관련 질문이 있습니다. [2] 1224
556 Shield 및 housing은 ground 와 floating 중 어떤게 더 좋은지요 [2] 238
555 안녕하세요 OLED 증착 시 궁금한점이있어 문의드립니다 [2] 255
554 Edge ring 없이 ESC를 구현 가능한지 궁금해서 여쭤봅니다. [2] 1418
553 PECVD 공정 진행중 chamber wall 부분에서 보이는 plasma instability 관련 질문 드립니다. [1] 1048
552 안녕하세요. 교수님 ICP관련하여 문의드립니다. [2] 1732
551 접착력을 위한 플라즈마 처리 관련 질문입니다 [1] 253
550 전극에 따른 힘의 크기 질문드립니다. [1] file 647
549 챔버내 Arcing 발생 개선안에 대해 질문드립니다. [2] 768

Boards


XE Login