OES CF3의 wavelength가 궁금해서 질문드립니다.
2021.07.16 18:01
현재 BTO 박막을 CF4/Ar gas 를 이용하여 플라즈마 식각을 진행하고 있습니다.
OES 분석을 위해 CF3 파장이 필요한데 제가 가지고 있는 data에 없어서 이렇게 문의 드립니다.
혹시 OES 분석이나 실험 분석에 사용했던 CF3의 파장이 있으시다면 알려주실수 있으신가요?
댓글 1
| 번호 | 제목 | 조회 수 |
|---|---|---|
| 공지 | [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [160] | 73081 |
| 공지 | Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 | 17644 |
| 공지 | 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. | 55521 |
| 공지 | kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 | 65739 |
| 공지 | 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] | 86107 |
| 647 | 전쉬스에 대한 간단한 질문 [1] | 454 |
| 646 | 반도체 관련 플라즈마 실험 [1] | 455 |
| 645 |
해수에서 플라즈마 방전 극대화 방안
[1]  | 456 |
| 644 | Plasma Ignition 시 Gas 사용에 대한 궁금증 요청드립니다. [1] | 457 |
| 643 | Bais 인가 Cable 위치 관련 문의 [1] | 465 |
| 642 | 플라즈마 샘플 위치 헷갈림 [1] | 471 |
| 641 | 프리쉬스에 관한 질문입니다. [1] | 473 |
| 640 | Interlock 화면.mag overtemp의 의미 | 473 |
| 639 | Frequnecy에 따라 플라즈마 영역이 달라질까요? [1] | 475 |
| 638 | O2 플라즈마 사용에 대한 질문을 드립니다. | 484 |
| 637 | 활성이온 측정 방법 [1] | 485 |
| 636 |
수중 속 저온 플라즈마 방전 관련 질문 드립니다
[2] | 485 |
| 635 | 플라즈마를 통한 정전기 제거관련. [1] | 490 |
| 634 | Dry Chamber VPP 변동 관련 질문입니다 [1] | 498 |
| 633 | analog tuner관련해서 질문드립니다. [1] | 499 |
| » | CF3의 wavelength가 궁금해서 질문드립니다. [1] | 500 |
| 631 | 조선업에서 철재절단용으로 사용하는 가스 프라즈마에 대한 질문 [1] | 504 |
| 630 | RPC CLEAN 시 THD 발생 [1] | 506 |
| 629 | RF magnetron sputtering시 플라즈마 off현상 [1] | 512 |
| 628 | ICP 대기압 플라즈마 분석 [1] | 512 |