Matcher RF 반사파와 이물과의 관계

2021.02.25 14:33

이재학 조회 수:434

안녕하십니까 교수님

디스플레이 업체에서 현재 CVD설비 공정분석을 담당하고 있는 이재학입니다.

 

Chamber별로 RF Reflect의 수준이 상이하며, 검사기에 검출되는 불량수와 양의 관계로 확인되고 있습니다.

 

 

1. RF Reflect 발생으로 인해 내부 이물이 과생성되는 건지

 

2. 내부 이물로 의해 RF Reflect가 점점 커지는지 의문입니다.

 

 

1의 경우 Load/Tune을 통해 내부 이물을 제어하는 평가를 진행하려하고

 

2의 경우 Parts 교체와 재질변경을 통해 RF Reflect를 낮추는 방향으로 진행하려합니다.

 

 

교수님의 견해로는 어느방향에 유의차가 있을지 문의드립니다.

번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [85] 2291
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 12771
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 49612
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 61085
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [2] 78327
599 Hollow Cathode glow Discharge 실험 관련해서 여쭤보고싶습니다. [1] file 363
598 엘립소미터 측정관련해서 질문이 있습니다. [1] 369
597 프리쉬스에 관한 질문입니다. [1] 372
596 전자기장 및 유체 시뮬레이션 관련 [1] 374
595 활성이온 측정 방법 [1] 376
594 analog tuner관련해서 질문드립니다. [1] 381
593 RPC CLEAN 시 THD 발생 [1] 382
592 플라즈마 용어 질문드립니다 [1] 384
591 Uniformity 관련하여 문의드립니다. [1] 385
590 해수에서 플라즈마 방전 극대화 방안 [1] file 388
589 RF magnetron sputtering시 플라즈마 off현상 [1] 391
588 Si Wafer에 Plasma를 처리했을때 정전기 발생 [1] 395
587 ICP-RIE etch에 관해서 여쭤볼것이 있습니다!! [1] 395
586 RF matcher와 particle 관계 [2] 400
585 Frequnecy에 따라 플라즈마 영역이 달라질까요? [1] 401
584 공정 진행 중간에 60Mhz만 Ref가 튀는 현상 관련하여 어떤 이유들이 있을까요..? [2] 402
583 임피던스 매칭 및 플라즈마 진단 [1] 407
582 Ion과 Radical의 이동 거리 및 거리에 따른 농도와 증착 품질 관련 [1] 408
581 수중 속 저온 플라즈마 방전 관련 질문 드립니다 [2] file 416
580 RF 전압과 압력의 영향? [1] 417

Boards


XE Login