번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [268] 76726
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 20174
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 57166
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 68696
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 92275
729 ICP dry etch 장비에서 skin depth가 클수록 좋다고 볼 수 있는 건가요? [1] 24331
728 [질문] ICP plasma 를 이용하여 증착에 사용하고 있는데요. [3] 24307
727 Dechucking 시 wafer 상의 전하 문제 24172
726 플라즈마에 관해 질문 있습니다!! 24122
725 self Bias voltage 24031
724 plasma and sheath, 플라즈마 크기 23973
723 플라즈마 쉬스 23934
722 Arcing 23802
721 N2 플라즈마 공정 시간에 따른 Etching rate의 변화 이유가 알고 싶어요 [2] 23758
720 플라즈마 물리학책을 읽고 싶습니다. 23439
719 광플라즈마(Photoplasma)라는 것이 있는가요? 23382
718 HVDC Current '0'으로 떨어지고, RF Bias Reflect (RF matching이 깨지는 현상) 발생 23332
717 CCP 방식에 Vdc 모니터링 궁금점. 23261
716 DC glow discharge 23246
715 고온플라즈마와 저온플라즈마 23124
714 No. of antenna coil turns for ICP 23096
713 입력전력에 따른 플라즈마 밀도 변화 (ICP/CCP) 23059
712 CCP/ICP , E/H mode 22976
711 안녕하세요. O2 Plasma 관련 질문좀 드리겠습니다. 22941
710 floating substrate 에서 sheath 형성 과정 의문점 [2] 22852

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