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공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 69248
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14 텅스텐 Plasma Cleaning 효율 불량 [1] 404
13 RIE Gas 질문 하나 드려도될까요? [1] 369
12 메틸기의 플라즈마 에칭 반응 메커니즘 [1] 339
11 RIE 설비 관련 질문 좀 드려도 될까요? [1] 336
10 Etch Plasma 관련 문의 건.. [RF 주파수와 플라즈마 주파수] [1] 326
9 GWP(Global warming potential)에 따른 Etch gas 변화에 대한 질문 [1] 278
8 플라즈마 식각 시 notching 현상 관련 [Ar, O2 플라즈마 생성 특성] [1] 276
7 공정 DATA TARGET 간 난제가 있어 문의드립니다. [Sheath uniformity 이해] [1] 146
6 Wafer Capacitance 성분과 Vdc 관계 문의드립니다. [Sheath 크기 및 전위 분포] [1] 132
5 자성 물질 Etching 시 Process Parameter 질문 [부착물의 흡착 관리] [1] 106
4 플라즈마 식각 커스핑 식각량 77
3 Debey Length에 대해 문의 드립니다. [플라즈마 정의와 Deybe length] [1] 76
2 가스 조성 및 온도에 따른 식각률 관련 질문입니다. [Arrhenius equation 이해] [1] 49
1 ExB drift 식 유도 과정에서의 질문 [삼각함수의 위상각] [1] 41

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