47th American Vacuum Society International Symposium 2000
2004.06.19 16:04
관리자가 주정훈 교수님을 대신해서 파일을 올립니다.
주정훈 교수님께서 2000 AVS 에 관한 파일을 보내주셨습니다.
교수님의 학회참석 소감과 학회내용에 대한 간단한 소개가 있습니다.
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| 번호 | 제목 | 조회 수 |
|---|---|---|
| 공지 | 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. | 48578 |
| 공지 | kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 | 49789 |
| 공지 | 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [1] | 55047 |
| 489 | [질문] Plasma density 측정 방법 [1] | 22054 |
| 488 | floating substrate 에서 sheath 형성 과정 의문점 [1] | 22053 |
| 487 | 입력전력에 따른 플라즈마 밀도 변화 (ICP/CCP) | 22025 |
| 486 | self Bias voltage | 21872 |
| 485 | [질문] ICP plasma 를 이용하여 증착에 사용하고 있는데요. [3] | 21832 |
| 484 | No. of antenna coil turns for ICP | 21789 |
| 483 | 플라즈마 쉬스 | 21786 |
| 482 | Dry Etcher 에 대한 교재 [1] | 21751 |
| 481 | 플라즈마 코팅에 관하여 | 21571 |
| 480 | 플라즈마 온도 질문 + 충돌 단면적 | 21535 |
| 479 | 펄스바이어스 스퍼터링 답변 | 21522 |
| 478 | manetically enhanced plasmas | 21418 |
| 477 | 고온플라즈마와 저온플라즈마 | 21410 |
| 476 | Dry Etch장비에서 Vdc와 Etch rate관계 [1] | 21395 |
| 475 | Dry Etcher 내 reflect 현상 [2] | 21327 |
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| 473 | 플라즈마내의 전자 속도 [1] | 21271 |
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