안녕하세요. 플라즈마응용연구실 관라자입니다.

 

금일부터 QnA 글을 작성하기 위해 등업제도를 일부 이용합니다.

 

해당 공지 게시글에 가입 인사를 적어주시면 QnA 글을 쓸 수 있는 권한을 받게 됩니다.

(*별도의 권한 처리 없이 댓글 등록시 바로 QnA 작성이 가능해집니다.)

 

글 작성 전에 반드시 댓글을 남겨주시고 QnA 글을 작성해주시기 바랍니다.

 

감사합니다.

 

** 기존에 글을 작성하셨던 분들도 권한 처리가 필요하므로 간단하게라도 댓글 부탁드립니다.

번호 제목 조회 수
» [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [313] 79242
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 21259
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 58063
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 69622
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 94408
43 HE LEAK 과 접촉저항사이 관계 [국부 방전과 chucking] [1] 238
42 CVD 박막 Clean 중 Ar에 의한 Etch 여부가 궁금합니다. [Ar plasma chemical etching] [1] 236
41 Impedance I 값을 결정 짓는 요소 관련 질문 [Impedance matching 이해] [1] 232
40 플라즈마를 이용한 물속 세균 살균 질문드립니다. [Bactericidal 이해] [2] 229
39 CCP Chamber 사용 중 Impedance 변화 원인 문의드립니다. [Chamber impedance 변화] [1] 228
38 화장품 원료의 플라즈마 처리 문의 [환경 플라즈마] [1] file 226
37 실리콘 수지 코팅 Tool에 Plasma 클리닝 시 코팅 제거 유/무 [대기압 플라즈마, highly collisional plasma] [1] 223
36 RF플라즈마에서 quasineutral에 대해 궁금한게 있어 질문글 올립니다.[quasineutral] [1] file 214
35 진공 챔버에서 Plasma Off시 Particle의 wafer 표면 충돌 속도 [Sheath energy] [1] 213
34 플라즈마 사이즈 측정 방법 [플라즈마 분포 측정 및 산포 평가] [1] 212
33 인가전압과 ESC의 관계 질문 [Floating sheath] [1] 207
32 Dielectric Etcher(CCP)에서 사용하는 주파수 [Plasma frequency 및 RF sheath] [2] 206
31 RF generator의 AMP 종류 질문입니다. [RF Power] [1] 206
30 챔버 내 전자&이온의 에너지 손실에 대해 [에너지 균형과 입자 균형식] [1] 205
29 corona model에 대한 질문입니다. [준중성과 저압플라즈마] [1] 204
28 Debey Length에 대해 문의 드립니다. [플라즈마 정의와 Deybe length] [1] 203
27 Showerhead와 Heater간 간격에 따른 RPC 효율성 [Pachen's law 이해] [1] 201
26 반사파에 의한 micro arc 질문 [VHF 전력 인가] [2] 199
25 Lxcat dataset에 따른 Plasma discharge에 대한 질문입니다. [CX 데이터] [1] 195
24 가스 조성 및 온도에 따른 식각률 관련 질문입니다. [Arrhenius equation 이해] [1] 194

Boards


XE Login