안녕하세요 지금 연세대학교에 재학중인 학부생입니다. 다름이 아니라 PECVD실험을 해서 논문을 쓰고 싶은데 PECVD 실험에 대해서 질문드리고자 합니다. PECVD실험을 할때 저희가 변수를 세워야 할 것이 뭐가 있을지 조언을 얻고 싶습니다. 그리고 pe-cvd를 이용하여 박막을 증착시킬경우 박막 특성을 평가하기 위한방법에는 어떤 것이 있나요?

번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [298] 77498
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 20584
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 57517
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 69033
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 93152
34 챔버 내 전자&이온의 에너지 손실에 대해 [1] 174
33 Si 와 SiO의 선택적 식각 관련 문의입니다. 168
32 진공 챔버에서 Plasma Off시 Particle의 wafer 표면 충돌 속도 [1] 160
31 반사파에 의한 micro arc 질문 [2] 157
30 HE LEAK 과 접촉저항사이 관계 [1] 156
29 DBD 플라즈마 작동 시 유전체에 가해지는 데미지 [1] 155
28 Showerhead와 Heater간 간격에 따른 RPC 효율성 [1] 153
27 ICP Plasma etch chamber 구조가 궁금합니다. [1] 149
26 RF generator의 AMP 종류 질문입니다. [1] 149
25 RF magnetron Sputtering 공정에서의 질문 [1] 145
24 Forward와 Reflect가 계속해서 걸립니다. [2] file 136
23 공정 DATA TARGET 간 난제가 있어 문의드립니다. [1] 131
22 플라즈마 설비에 대한 질문 129
21 CVD 박막 Clean 중 Ar에 의한 Etch 여부가 궁금합니다. [1] 125
20 Wafer Capacitance 성분과 Vdc 관계 문의드립니다. [1] 110
19 RF 반사와 전기에서 쓰이는 무효전력 반사 차이점이 궁금합니다. [1] 109
18 CCP Chamber 사용 중 Impedance 변화 원인 문의드립니다. [1] 106
» PECVD 실험을 하려고 하는데 조언 구합니다. 106
16 Ni DC 스퍼터 관련 질문있습니다. [1] 100
15 자성 물질 Etching 시 Process Parameter 질문 [1] 98

Boards


XE Login