번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [336] 108093
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 26434
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 63592
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 75263
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 108786
15 동일한 RF방전챔버에서 화학종별 이온화율에 대한 질문 [1] 434
14 플라즈마를 이용한 물속 세균 살균 질문드립니다. [Bactericidal 이해] [2] 419
13 내플라즈마 코팅의 절연손실에 따른 챔버 내부 분위기 영향 여부 질문드립니다. [유전체 상태 모니터링] [1] 407
12 Ar Plasma로 AlN Pedestal 표면에 AlFx desorption 가능 여부가 궁금합니다. [1] 406
11 DBD 플라즈마 작동 시 유전체에 가해지는 데미지 [상압플라즈마 소스] [1] 405
10 corona model에 대한 질문입니다. [준중성과 저압플라즈마] [1] 402
9 Surface wave plasma 조건에 관해 질문드립니다. [표면파의 전파] [1] 380
8 PECVD 실험을 하려고 하는데 조언 구합니다. 373
7 플라즈마 설비에 대한 질문 372
6 스터퍼링시 기판 온도 계산에 대해 질문드립니다! [열전달 방정식 이해] [1] 334
5 [문의] Shower Head의 구멍이 일부 막힌 Case의 출력 [1] 289
4 플라즈마 식각 커스핑 식각량 283
3 스미스차트의 저항계수에 대한 질문드립니다 240
2 OES를 통한 Radical 생성량 트렌드 파악 [1] 176
1 C2H2 플라즈마코팅시 가스 원인과 대책 168

Boards


XE Login