Matcher Interlock 화면.mag overtemp의 의미
2020.12.16 11:20
안녕하세요
Dps장비 내 boas match 교체 시 interlock 화면에서 mag overtemp를 off로하여야 인터락걸리는 것이 해제가 된다는데 mag overtemp가 내포하는 의미와 off로 한다는 것은 어떠한 원리를 포함하고 있는지 궁금합니다
댓글 0
| 번호 | 제목 | 조회 수 |
|---|---|---|
| 공지 | [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [160] | 73081 |
| 공지 | Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 | 17644 |
| 공지 | 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. | 55521 |
| 공지 | kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 | 65739 |
| 공지 | 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] | 86107 |
| 627 | ICP와 CCP는 단순히 플라즈마를 생서하는 방법인가요? [1] | 7608 |
| 626 | CCP 구조가 ICP 구조보다 Arcing 발생에 더 취약한가요? [3] | 2790 |
| 625 | ESC Dechuck과 관련하여 궁금한점이 있어 문의를 드립니다. [1] | 13485 |
| 624 | CVD 막질의 성질에 대해 질문드립니다. [1] | 897 |
| 623 | 전자 온도에 대한 질문이 있습니다. [1] | 826 |
| 622 | RF 전류가 흐르는 Shower head를 TC로 온도 측정 할 때 [1] | 604 |
| 621 | CCP plasma에서 gap과 Pressure간의 상관관계 [1] | 1731 |
| 620 | 데포 중 RF VDC DROP 현상 [1] | 1313 |
| 619 | OES 분석 관련해서 질문드립니다. [1] | 893 |
| 618 | CF3의 wavelength가 궁금해서 질문드립니다. [1] | 500 |
| 617 | anode sheath 질문드립니다. [1] | 618 |
| 616 | 안녕하세요. Plasma etch rate에 관하여 질문이 있습니다. [1] | 541 |
| 615 | 플라즈마를 통한 정전기 제거관련. [1] | 490 |
| 614 | RF 케이블 발열 현상관련 문의 드립니다. | 1232 |
| 613 | CVD (CCP) 공정의 Chamber seasoning과 플라즈마 밀도 [1] | 1249 |
| 612 | 라디컬의 재결합 방지 [1] | 531 |
| 611 | LF Power에의한 Ion Bombardment [2] | 1110 |
| 610 | PECVD와 RIE의 경계에 대해 [1] | 1050 |
| 609 |
전자 온도 구하기
[1]  | 740 |
| 608 | 공정 진행 중 의도적인 섭동 효과에 대해서 질문 드립니다. [1] | 247 |