Ion/Electron Temperature electron energy distribution에 대해서 질문드립니다.
2021.04.07 11:16
안녕하세요. 카이스트에서 석사 1년차로 있는 대학원생입니다.
Single probe로 electron energy probability distribution을 구할 때, low energy electron은 bulk plasma에서 평형 상태에 도달한 전자들을 지칭하고 high energy electron은 cathode에서 방출되고 probe sheath를 통해 bulk plasma로 가속되는 전자들을 지칭하는 것으로 알고 있습니다.
이 두 그룹의 전자들을 구분할 수 있는 식이 따로 있는지 궁금합니다. 실험을 통해 얻은 EEPF에서 몇 eV부터 몇 eV까지는 low energy electrons이고 몇 eV부터 몇 eV까지는 high electrons이다 라는 형태의 답을 얻고 싶습니다.
감사합니다.
번호 | 제목 | 조회 수 |
---|---|---|
공지 | [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [265] | 76542 |
공지 | Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 | 20078 |
공지 | 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. | 57116 |
공지 | kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 | 68615 |
공지 | 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] | 91697 |
703 | self bias [1] | 514 |
702 | Self bias 내용 질문입니다. [1] | 746 |
701 | 정전척의 chucking voltage 범위가 궁금합니다. [1] | 678 |
700 | 챔버 시즈닝에 대한 플라즈마의 영향성 [1] | 601 |
699 | PECVD Cleaning에서 Ar Gas의 역활 [1] | 1114 |
698 | 텅스텐 Plasma Cleaning 효율 불량 [1] | 353 |
697 | ICP lower power 와 RF bias [1] | 1406 |
696 | CCP RIE 플라즈마 밀도 [1] | 566 |
695 | 실리콘 수지 코팅 Tool에 Plasma 클리닝 시 코팅 제거 유/무 [1] | 169 |
694 | RF 전압인가 시 LF와 HF 에서의 Sheath 비교 [1] | 832 |
693 | 기판표면 번개모양 불량발생 [1] | 590 |
692 | 진공수준에 따른 RF plasma 영향 관련 질문 [1] | 599 |
691 | OLED에서 SF6와 CF4를 사용하는 이유를 알고 싶습니다. [1] | 28681 |
690 | plasma modeling 관련 질문 [1] | 383 |
689 | 플라즈마 진단 OES 관련 질문 [1] | 701 |
688 | O2 플라즈마 사용에 대한 질문을 드립니다. | 726 |
687 | 플라즈마 주파수 예측관련 질문드립니다 [1] | 1124 |
686 | Ta deposition시 DC Source Sputtreing | 2357 |
685 | 전자밀도 크기에 대하여 질문드립니다. (Ar, O2, N2 가스) [1] | 1026 |
684 | OES를 이용한 Gas Species 정량적 분석 방법 [1] | 730 |
플라즈마는 집합운동을 하는 입자를 대상으로 합니다. 따라서 열적 평형상태를 가집니다. EEDF는 그 중에 전자의 열에너지 특성을 관찰하려는 목적의 진단 인자이며 형태로 부터 진단하려는 플라즈마가 도달한 열적 평형 상태를 관찰할 수가 있습니다. 따라서 교과서의 Maxwellian EEDF의 형태를 이해해 보시는 것이 좋습니다. 측정 대상인 전자'들'이 집단적으로 거동을 함에 있어 어디로 부터 에너지를 받고 잃는 과정을 통해서 현재 분포를 가지게 되었는가? 하는 질문으로 시작하고, 측정한 EEDF가 이 형태와 차이가 나는 에너지를 찾고, 그 크기 (주로 면적이 됩니다)를 찾고, 이 평형 상태는 플라즈마 내의 다양항 충돌 현상으로 부터 유발되니, 어떤 충돌과 에너지 가 개입했는가를 확인하는 과정으로 전개하시면 높은 에너지. 낮은 에너지 구분의 의미, 즉 질문자의 질문에 대한 답을 찾을 수 있을 것 같습니다.