Etch 터보펌프 에러관련

2019.03.18 20:52

베컴 조회 수:1756

안녕하십니까?

진공관련 터보펌브 관련 질문을 드리려 합니다.

고진공 펌프인 터보펌프에 대기압 상태의 가스입자 즉 아보가드로 넘버 숫자의 입자가 주입이 될 경우

터보펌프에 어떤 무리가 오게 되는지 궁금합니다.

제가 예상하건데...터보펌프 블레이드가 녹아버리거나, 추즉합니다.


터보펌프에 에러가 발생을 해서요...따로 인터락은 작동하지 않은것으로 파악됩니다.

이 게시물을
목록
목록
번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [268] 76726
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 20182
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 57167
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 68698
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 92276
709 ISD OES파형 관련하여 질문드립니다. [1] 436
708 PEALD 장비에 관해서 문의드리고 싶습니다. [1] 398
707 ICP Dry Etch 설비 DC bias Hunting 관련 질문드립니다. [1] 614
706 E-field plasma simulation correlating with film growth profile [1] 315
705 Si 표면에 Ar Plasma Etching하면 안되는 이유 [1] 1010
704 OES를 통한 공정 개선 사례가 있는지 궁금합니다. [1] 588
703 self bias [1] 528
702 Self bias 내용 질문입니다. [1] 815
701 정전척의 chucking voltage 범위가 궁금합니다. [1] 701
700 챔버 시즈닝에 대한 플라즈마의 영향성 [1] 618
699 PECVD Cleaning에서 Ar Gas의 역활 [1] 1172
698 텅스텐 Plasma Cleaning 효율 불량 [1] 366
697 ICP lower power 와 RF bias [1] 1435
696 CCP RIE 플라즈마 밀도 [1] 575
695 실리콘 수지 코팅 Tool에 Plasma 클리닝 시 코팅 제거 유/무 [1] 170
694 RF 전압인가 시 LF와 HF 에서의 Sheath 비교 [1] 869
693 기판표면 번개모양 불량발생 [1] 609
692 진공수준에 따른 RF plasma 영향 관련 질문 [1] file 609
691 OLED에서 SF6와 CF4를 사용하는 이유를 알고 싶습니다. [1] 28722
690 plasma modeling 관련 질문 [1] 387
쓰기
태그

Boards

XE Login