안녕하세요 저는 한양대 비선형광학 연구실에 석사과정중인 박진우 입니다.



현재 Hollow Cathode discharge를 이용한 D2 플라즈마를 뛰어서 분광학에 사용하는 연구를 진행중인데요, 



플라즈마를 띄우는 과정에서 이상 현상들이 일어나 이에 대해 고민하던중 혼자힘으론 해결이 어려워 이렇게 글을 남김니다.



현재 이상현상은 두가지인데요.



첫째는 플라즈마가 안정화가 안되고, 계속 전극위에 이물질이 타듯이 스파크가 튀는것입니다. 이 현상이 랜덤하게 일어나서, 전극 교체마다 어느때는 괜찮고 어느때는 일어나는 랜덤한 현상인데, 이것의 원인을 모르겠구요... 평소에는 전극 주변에 이물질이 타는거라고 알고는있는데 플라즈마가 안정화가 안되고 이 현상이 계속 유지가 되내요.



두번째는 플라즈마에서 발광 빛의 변형이 일어나는 것인데요,원래 중수소 플라즈마의 발광빛이 656nm 쯤이라 붉은 핑크빛이 나오는데요, 플라즈마를 키고 10분~15분 지나면 갑자기 초록색 비슷한 발광빛이 일시적으로 관측 됩니다.이때 인가전류도 감소하고 , 챔버 내 온도도 ㄱ 감소하더라고요. 챔버 내벽에서 나오는 파티클이 나오는거같아 세척도하고, 전극 표면도 초음파세척을 해주었지만 개선이 안되고있고요.



두번째 이상현상이 일어난후 챔버를 열어보면 ppt의 그림과같이 오염된 자국들이 선명하게 남게됩니다. 평소 세척은 공업용 수세미로 세척을 했었는데, 챔버 벽면에 스크레치가 생길수 있어서 최근에 업체에 맡겨서 내벽 세척을 다 끝내고 실험을 다시 진행했는데요.



5번 슬라이드처럼 다시 전극이 변형된거를 관측했습니다. 이때는 초록빛은 관측되지않고, 단순히 인가전류만 감소하고 결국은 꺼졌습니다.



현재 anode가 cu고 cathode 가 Al인데 개인적인 생각으론 전극으로서 금속선택이 잘못된거 같다고는 생각이 드는데 정확한 원인으로서 증명하기가 힘드네요.

구체적인 현상들은 사진으로 ppt에 첨부했습니다.

이러한 현상에대해 혹시 아신다면 ,알려주시면 정말 감사하겠습니다.
번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [265] 76540
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 20076
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 57115
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 68613
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 91695
703 self bias [1] 514
702 Self bias 내용 질문입니다. [1] 745
701 정전척의 chucking voltage 범위가 궁금합니다. [1] 677
700 챔버 시즈닝에 대한 플라즈마의 영향성 [1] 601
699 PECVD Cleaning에서 Ar Gas의 역활 [1] 1114
698 텅스텐 Plasma Cleaning 효율 불량 [1] 353
697 ICP lower power 와 RF bias [1] 1404
696 CCP RIE 플라즈마 밀도 [1] 566
695 실리콘 수지 코팅 Tool에 Plasma 클리닝 시 코팅 제거 유/무 [1] 169
694 RF 전압인가 시 LF와 HF 에서의 Sheath 비교 [1] 831
693 기판표면 번개모양 불량발생 [1] 590
692 진공수준에 따른 RF plasma 영향 관련 질문 [1] file 599
691 OLED에서 SF6와 CF4를 사용하는 이유를 알고 싶습니다. [1] 28680
690 plasma modeling 관련 질문 [1] 383
689 플라즈마 진단 OES 관련 질문 [1] 701
688 O2 플라즈마 사용에 대한 질문을 드립니다. 725
687 플라즈마 주파수 예측관련 질문드립니다 [1] 1124
686 Ta deposition시 DC Source Sputtreing 2357
685 전자밀도 크기에 대하여 질문드립니다. (Ar, O2, N2 가스) [1] 1025
684 OES를 이용한 Gas Species 정량적 분석 방법 [1] 730

Boards


XE Login