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공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 51255
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 63778
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [2] 83585
161 CCP기반 power와 Etch rate 관계에 대해 여쭈어드립니다. [3] 1130
160 N2 Plasma 상태에 대해서 질문 드립니다. [1] 1161
159 O2 plasma etching 관련 질문이 있습니다. [1] 1171
158 데포 중 RF VDC DROP 현상 [1] 1173
157 PECVD 공정 진행중 chamber wall 부분에서 보이는 plasma instability 관련 질문 드립니다. [1] 1189
156 강의를 들을 수 없는건가요? [2] 1226
155 플라즈마 내에서의 현상 [1] 1227
154 쉬스(sheath)에서 전자와 이온의 감소 관련하여 질문 [1] 1288
153 O2 플라즈마 클리닝 관련 질문 [1] 1304
152 플라즈마 rotational temperature에 관해서 질문드릴게 있습니다. [1] 1307
151 RF Power와 균일도 연관성 질문드립니다. [2] 1376
150 진공장치 챔버내 산소 또는 수분 제거 방법에 대해 [1] 1392
149 ICP power와 ion energy사이의 관계에 대해서 문의드립니다. [2] 1398
148 플라즈마 관련 기초지식 [1] 1405
147 질문있습니다. [1] 1442
146 다중 주파수를 이용한 플라즈마 식각에서 이온 에너지 제어 관련 [1] 1449
145 플라즈마 띄울때..ㅠㅠ!!? [1] 1519
144 공정 진행 중간에 60Mhz만 Ref가 튀는 현상 관련하여 답변 정말 감사합니다! 1534
143 플라즈마 self bias 값과 압력, 파워의 상관관계에 대해 질문이 있습니다. [1] 1722
142 plasma etching을 관련 문의드립니다. [1] 1805

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