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공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 67567
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 89377
668 정전척의 chucking voltage 범위가 궁금합니다. [1] 461
667 Self bias 내용 질문입니다. [1] 462
666 진공수준에 따른 RF plasma 영향 관련 질문 [1] file 482
665 해수에서 플라즈마 방전 극대화 방안 [1] file 490
664 간단한 질문 몇개드립니다. [1] 491
663 주파수 변화와 Plasma 온도 연관성 [1] 496
662 Polymer Temp Etch [1] 498
661 전쉬스에 대한 간단한 질문 [1] 501
660 전자기장 및 유체 시뮬레이션 관련 [1] 501
659 연속 Plasma시 예상되는 문제와 횟수를 제한할 경우의 판단 기준 [1] file 501
658 Bais 인가 Cable 위치 관련 문의 [1] 502
657 [재질문]에칭에 필요한 플라즈마 가스 [1] 510
656 OES를 이용한 Gas Species 정량적 분석 방법 [1] 513
655 Frequnecy에 따라 플라즈마 영역이 달라질까요? [1] 515
654 Interlock 화면.mag overtemp의 의미 523
653 활성이온 측정 방법 [1] 529
652 프리쉬스에 관한 질문입니다. [1] 529
651 플라즈마 진단 OES 관련 질문 [1] 529
650 수중 속 저온 플라즈마 방전 관련 질문 드립니다 [2] file 531
649 Co-relation between RF Forward power and Vpp [1] 534
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