Process 안녕하세요 OLED 증착 시 궁금한점이있어 문의드립니다
2020.09.05 00:10
안녕하세요
저는 직장인입니다
회사에서 OLED쪽 CVD 장비유지보수 업무를 하고있습니다
그동안 플라즈마 연구실에서 궁금한거 눈팅만 하다가 이번에는 없어서 직접 질문드립니다
보안에 위배될까봐 자세히는 적지 못 합니다 이해 부탁드립니다.
증착 중 부속 장비의 알람 발생으로 증착 중 RF Power 및 가스 Flow가 중단되어 증착이 중단됩니다
Alarm 발생 Glass를 살리기 위해 Glass 제전(전극과 Glass 간격을 벌려줌) 후 추가증착을 진행(추가증착시 전극에 Glass 안착 후)하는데
이 추가증착 진행 Glass에서 흰얼룩(뿌연얼룩/방사형얼룩)이 발생됩니다
이것을 해결 하기 위한 방법이 있을까요?
댓글 2
번호 | 제목 | 조회 수 |
---|---|---|
공지 | [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [265] | 76543 |
공지 | Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 | 20078 |
공지 | 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. | 57116 |
공지 | kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 | 68615 |
공지 | 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] | 91697 |
703 | Remote plasma source의 주파수 400kHz 이유 [1] | 462 |
702 | 코로나 방전 처리 장비 문의드립니다. [1] | 463 |
701 | Tribo-Plasma 에 관해서 질문드리고 싶습니다. | 467 |
700 | PECVD Uniformity [1] | 468 |
699 | magnetic substrate와 플라즈마 거동 [3] | 469 |
698 | 자외선 세기와 결합에너지에 대해 질문드립니다. [1] | 469 |
697 | 플라즈마 세정처리한 PCB, Lead Frame 재활용 방법 [1] | 474 |
696 | (PAP)plasma absorption probe관련 질문 [1] | 477 |
695 | 산소 플라즈마에 대한 질문입니다... | 480 |
694 | 수중방전에 대해 질문있습니다. [1] | 492 |
693 | 안녕하세요. 자문을 구할 수 있을지 궁금합니다. [1] | 496 |
692 | PECVD설비 Matcher 아킹 질문 [2] | 505 |
691 | Plasma에 의한 분해 및 치환 반응(질문) [1] | 508 |
690 | self bias [1] | 514 |
689 | 해수에서 플라즈마 방전 극대화 방안 [1] | 515 |
688 | Arcing 과 Self-DC Bias Voltage 상관 관계 [1] | 526 |
687 | 전자기장 및 유체 시뮬레이션 관련 [1] | 536 |
686 | Chamber 내 Pressure와 Fluid Density, Residence Time 거동 [1] | 536 |
685 | Chamber impedance 범위에 대해 질문드립니다. | 538 |
684 | Bais 인가 Cable 위치 관련 문의 [1] | 542 |