Ashing O2 Asher o-ring 문의드립니다.
2020.07.30 19:43
안녕하세요
재직중인 곳에서 O2 Asher 를 사용하고 있습니다.
약 3개월 마다 장비 유지보수 및 cleaning을 진행하고 있는데
그때마다 항상 O-ring이 갈라져 있고, 주변으로 흰색 가루(?) 같은 것들이 있습니다.
Ar를 사용하는 PVD 장비의 O-ring은 1년을 써도 멀쩡한데 O2 asher만 그러네요....
O-ring 재질은 바이톤 재질을 사용하고 있습니다.
O2 Asher에 적합한 O-ring이 무엇인지 알고 싶습니다.
그리고 발생된 흰가루나 갈라진 O-ring이 out gasing, particle을 유발하여 제품에 영향을 미칠까요?
작업 용도는 세라믹 기판에 코팅된 PR을 노광 및 현상 후 표면 Cleaning 용도로 쓰고 있습니다.
무더위 건강 유의하시고 좋은 하루 되시길 바랍니다.!!
| 번호 | 제목 | 조회 수 |
|---|---|---|
| 공지 | [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [268] | 76727 |
| 공지 | Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 | 20183 |
| 공지 | 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. | 57167 |
| 공지 | kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 | 68699 |
| 공지 | 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] | 92278 |
| 709 | Fluoride 스퍼터링 시 안전과 관련되어 질문 [1] | 454 |
| 708 | 코로나 방전 처리 장비 문의드립니다. [1] | 468 |
| 707 | Tribo-Plasma 에 관해서 질문드리고 싶습니다. | 469 |
| 706 | AlCu Dry Etch시 Dust 잔존문제 | 470 |
| 705 |
plasma striation 관련 문의
[1]  | 470 |
| 704 | magnetic substrate와 플라즈마 거동 [3] | 472 |
| 703 | 플라즈마 전원 공급장치에 대한 질문 [1] | 479 |
| 702 | (PAP)plasma absorption probe관련 질문 [1] | 482 |
| 701 | 자외선 세기와 결합에너지에 대해 질문드립니다. [1] | 484 |
| 700 | 플라즈마 세정처리한 PCB, Lead Frame 재활용 방법 [1] | 484 |
| 699 | remote plasma 를 이용한 SiO2 etching 질문드립니다. [1] | 486 |
| 698 | 산소 플라즈마에 대한 질문입니다... | 487 |
| 697 | 수중방전에 대해 질문있습니다. [1] | 501 |
| 696 | PECVD Uniformity [1] | 505 |
| 695 |
안녕하세요. 자문을 구할 수 있을지 궁금합니다.
[1] | 506 |
| 694 | Plasma에 의한 분해 및 치환 반응(질문) [1] | 514 |
| 693 |
해수에서 플라즈마 방전 극대화 방안
[1] | 516 |
| 692 | Plasma 표면개질에 대해 질문드립니다. [1] | 516 |
| 691 | self bias [1] | 528 |
| 690 | 전자기장 및 유체 시뮬레이션 관련 [1] | 541 |
제 생각에는 Asher chamber 에서 Oring 근방의 열변화 및 산화에 의한 경화가 심할 수 밖에 없을 것 같습니다. 플라즈마의 역할이 열(에너지)전달과 산화(해리 진작)이 고려되고 세정 후 byprodcut가 oring 열화에 기여할 것 같지는 않습니다. 개선책은 딱히 떠오르지 않습니다만, 디자인으로 일부 늦출 수 있지 않을지 모르겠습니다. (plasma 열 전달과 plasma 확산 부에서 현재위치 보다 떨어뜨리거나 냉각효율이 높게 oring groove 를 세밀하게 조절하는 방법 등이 어떨까 합니다. 자칫 공정에 영향을 미칠 수 있는 부분이니 데이터를 축적해서 교정해 나가는 것이 좋겠습니다.