OES OES 원리에 대해 궁금합니다!
2018.05.31 19:08
안녕하세요 한양대학교에서 공부하고 있는 학생입니다
이번에 플라즈마 수업을 듣는데 플라즈마를 검진하는 방법중에 하나인 OES에 대해서 조사를 해보고 있는데
생각보다 자료가 많이 나오지 않아서 어려움을 겪고 있습니다
플라즈마 검진법중 하나인 OES에 대해서 조금 자세하게 설명 해주실수 있을까요??
부탁드립니다!
번호 | 제목 | 조회 수 |
---|---|---|
공지 | [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [267] | 76710 |
공지 | Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 | 20162 |
공지 | 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. | 57162 |
공지 | kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 | 68684 |
공지 | 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] | 92243 |
708 | Dry Etch장비에서 Vdc와 Etch rate관계 [1] | 22760 |
707 | [질문] Plasma density 측정 방법 [1] | 22694 |
706 | pulse plasma 측정을 위한 Langmuir probe 사용 방법 관련.. [1] | 22617 |
705 | Peak RF Voltage의 의미 | 22602 |
704 | MATCHING NETWORK 에서 BACKWARD BIAS 가 생성되는 이유가 무엇 입니까? [3] | 22579 |
703 | Dry Etcher 에 대한 교재 [1] | 22538 |
702 | Dry Etcher 내 reflect 현상 [2] | 22239 |
701 | 플라즈마의 발생과 ICP | 22133 |
700 | remote plasma에 대해 설명좀 부탁드립니다. [1] | 22114 |
699 | 질문있습니다 교수님 [1] | 22112 |
698 | 플라즈마 코팅에 관하여 | 22090 |
697 | 플라즈마 온도 질문 + 충돌 단면적 | 21996 |
696 | 펄스바이어스 스퍼터링 답변 | 21943 |
695 | 플라즈마내의 전자 속도 [1] | 21894 |
694 | glass 기판 ICP 에서 Vdc 전압 | 21751 |
693 | manetically enhanced plasmas | 21655 |
692 | 스퍼터링시 시편두께와 박막두께 [1] | 21569 |
691 | 대기압플라즈마를 이용한 세정장치 | 21540 |
690 | 상압 플라즈마 관련 문의입니다. [1] | 21513 |
689 | F/S (Faraday Shield) | 21497 |
어렵죠. OES는 말 그대로 optical emission spectroscopy 즉 광 스펙트럼을 진단하는 장치를 총괄하는 표현이라 할 수 있습니다. 따라서 진단 방법이기도 하고, 진단 장치를 의미하기도 합니다. 플라즈마는 플라즈마 생성 과정에서 전자 충돌에 의한 원자/분자/이온의 여기반응으로 부터 빛을 방출하고 각 입자들은 고유 빛 파장을 가짐으로 분광하여 방출 입자의 종을 파악하거나 혹은 그 에너지 상태를 해석할 수가 있습니다. 따라서 플라즈마의 2가지 핵심 진단 방법은 광진단계에 의존하는 방법과 전하를 측정하는 전기적 방법으로 크게 두 방법으로 구분할 수 있고 플라즈마 진단의 큰 축을 담당하는 방법이 OES 방법이라 할 수 있습니다. 특히 OES는 플라즈마가 내는, 플라즈마 입장의 자발광 빛의 파장 정보를 얻은 방법이라 할 수 있겠습니다. OES 공부를 위해서는 J.M. Hollas 의 Modern Spectroscopy 를 공부해 보기를 추천합니다.