번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [60] 1483
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 1845
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 49508
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 59711
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [1] 75503
543 자외선 세기와 결합에너지에 대해 질문드립니다. [1] 185
542 Dry etch 할때 센터와 사이드 etch rate [1] 820
541 플라즈마 입자 운동 원리(전자기장에서) [1] 510
540 CCP/ICP 의 플라즈마 밀도/균일도 에 대해서 질문이 있습니다. [3] 1636
539 플라즈마 살균 방식 [2] 10431
538 Matcher의 효율에 대한 내용에 대해서 궁금합니다. [1] 589
537 RF/LF에 따른 CVD 막질 UNIFORMITY [1] 684
536 H-field 측정위치에 따른 H Field MAP 변화 관련 [1] 173
535 Dechucking과 He gas의 관계 질문입니다. [1] 538
534 Matcher의 Load/Tune Position 거동에 관해 질문이 있습니다. [2] 1096
533 O2 plasma, H2 plasma 처리 관련 질문이 있습니다. [1] 2481
532 Plasma etch관련 질문이 드립니다. [1] 577
531 RPS를 이용한 SIO2 에칭 [1] 1555
530 쉬스(sheath)에서 전자와 이온의 감소 관련하여 질문 [1] 1081
529 질문있습니다 교수님 [1] 12903
528 CVD품질과 RF Delivery power 관계 질문 [1] 709
527 KM 모델의 해석에 관한 질문 [1] 198
526 remote plasma 데미지 질문 [1] 7014
525 RF generator 관련 문의드립니다 [3] 973
524 Wafer Warpage에 따른 CCP Type Chamber 내부 Impedance [1] 474

Boards


XE Login