안녕하세요. 전남대학교 정세훈이라고 합니다.
몇가지 궁금한점이 있어 질문드립니다

a)       the typical energy of sputtered Cu atoms if the Ar ion has an energy of 500 eV.

b)       the typical energy of sputtered Cu atoms if the Ar ion has an energy of 5000 eV

Cu원자의 에너지값이 어떻게되나요? 여러논문을 검색해보았는데
thompson distribution E/(E+Eb) 에 대해서는 나오는데.. 계산이 잘 안돼서요..
--------------------
위의 질문에 대한 참고 자료를 군산대학교 주정훈교수님께서 올려 주셨습니다. 그림과 같이 Kr 입자 조사에 의한 스퍼터링된 Cu의 에너지 및 이탈 속도 함수를 보여주고 있습니다. Ar과 조사 입자의 질량 차이가 있을 뿐 이를 고려한다면 거의 현상은 유사할 것으로 판단됩니다. 이 자료는 교재에 있다고 하니 참고하시기 바랍니다. 

번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [265] 76539
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 20076
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 57115
» kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 68613
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 91695
683 Sticking coefficient 관련 질문입니다. [1] 951
682 RF Sputtering Target Issue [2] file 570
681 OES 파장 관련하여 질문 드립니다. [1] 592
680 PECVD 증착시 온도, 기판의 종류의 영향에 대해서 질문드립니다! [1] 1783
679 plasma striation 관련 문의 [1] file 461
678 Chamber impedance 범위에 대해 질문드립니다. 537
677 주파수 변화와 Plasma 온도 연관성 [1] 617
676 Chamber 내 Pressure와 Fluid Density, Residence Time 거동 [1] file 535
675 RPSC 시 Pressure와 Throttle Valve Position의 관계 [1] file 1122
674 Plasma Ignition 시 Gas 사용에 대한 궁금증 요청드립니다. [1] 1119
673 Plasma Arching [1] 1025
672 Polymer Temp Etch [1] 635
671 CCP Plasma 해석 관련 문의 [1] file 972
670 AlCu Dry Etch시 Dust 잔존문제 455
669 플라즈마 관련 교육 [1] 1383
668 반도체 관련 플라즈마 실험 [1] 1118
667 스퍼터링 Dep. 두께 감소 관련 문의사항 [1] 437
666 방전수 활성종 중 과산화수소 측정에 관련하여 질문드립니다. [1] 808
665 Dry Chamber VPP 변동 관련 질문입니다 [1] 863
664 RF 파워서플라이 매칭 문제 799

Boards


XE Login