Others 플라즈마에서 가속 전압 또는 RF 파워 관련 질문드려요.
2017.09.07 15:11
현재, 스퍼터링 시스템에 대해 공부를 하고 있습니다.
자연스레 플라즈마에 대해 알아야 되더라고요.
근데 공부 중에 플라즈마에 관련된 여러 변수 또는 파라미터들을 알게 되었습니다.
그 중 제가 질문하고자 하는 변수는 RF 파워인데요
RF 파워가 커지면 이온 에너지도 커진다고 알고 있습니다.
이게 왜 그런지 알고 싶습니다!
번호 | 제목 | 조회 수 |
---|---|---|
공지 | [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [268] | 76713 |
공지 | Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 | 20169 |
공지 | 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. | 57164 |
공지 | kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 | 68693 |
공지 | 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] | 92269 |
173 | VPS 공정에서 압력변수관련 질문입니다. [1] | 426 |
172 | 쉬쓰 천이지역에 관한 질문입니다. [1] | 1156 |
171 | 상압플라즈마 제품 원리 질문드립니다 [2] | 954 |
170 | plasma etching을 관련 문의드립니다. [1] | 2431 |
169 | 프리쉬스에 관한 질문입니다. [1] | 596 |
168 | 플라즈마 충격파 질문 [1] | 793 |
167 | O2 Plasma 에칭 실험이요 [1] | 957 |
166 | 플라즈마 코팅 [1] | 1036 |
165 | 플라즈마용사코팅에서의 carrier gas [1] | 804 |
164 | RF MATCHING 관련 교재 추천 부탁드립니다 [1] | 853 |
163 | RF tune position 과 Vrms의 관계가 궁금합니다 [1] | 966 |
162 | Frequnecy에 따라 플라즈마 영역이 달라질까요? [1] | 558 |
161 | 염소발생 전기분해 시 스파크 발생에 관해 질문드립니다. [1] | 390 |
160 | 플라즈마 세라믹코팅후 붉은 이유는? | 2327 |
159 | Gas 별 Plasma 색 관련 질문입니다. [1] | 3442 |
158 | RF magnetron sputtering시 플라즈마 off현상 [1] | 664 |
157 | 플라즈마 self bias 값과 압력, 파워의 상관관계에 대해 질문이 있습니다. [1] | 2126 |
156 | 산소 플라즈마에 대한 질문입니다... | 487 |
155 | 수중 속 저온 플라즈마 방전 관련 질문 드립니다 [2] | 589 |
154 | 자기 거울에 관하여 | 1137 |
PF Power 는 인가 전압 x 인가 전류 x 위상차의 함수인 power factor를 곱한 값입니다. 즉 power의 크기가 커지는 경우는 인가된 전압이 커지나 전류가 커지거나 서로의 위상이 잘 정돈된 경우세 power가 커집니다. 따라서 전압이 커지는 경우, 전력 인가 대상 앞의 이온의 가속 에너지를 키울 수 있게 되며, 전류를 키우는 경우 인가 대상으로 흐르는 플라즈마 전류를 키울 수가 있겠고, 위상을 잘 맞추는 경우 전력이 플라즈마 가속과 생성 반응으로 잘 흡수되도록 할 수가 있게 됩니다. 전력의 인자를 나누고 그 역할을 생각해 보면 공부에 도움이 될 것입니다.