DC glow discharge DC Plasma 전자 방출 메커니즘
2018.04.19 11:22
반도체 장비업체에서 일하고 있는 사람입니다.
전기, 전자 전공으로 최근에 Plasma에 관심이 생겨서 공부하고 있습니다.
DC Plasma에서 전자방출 메커니즘이 여러가지가 있는 것으로 알고 있습니다.
타운센트 방전 이론에 의한 알파, 감마 작용는 이해가 가는데,
1. 플라즈마 내부 광자에 의한 음극에서의 이차 전지 방출(Photoemission)
2. 준안정(metastable) 종이 음극을 때릴 때 이차 전자 방출
위의 두가지가 무엇을 의미하는지 잘 모르겠습니다.
알고계시는 선배님들 알려주시면 감사하겠습니다.
댓글 0
| 번호 | 제목 | 조회 수 |
|---|---|---|
| 공지 | [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [266] | 76650 |
| 공지 | Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 | 20148 |
| 공지 | 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. | 57148 |
| 공지 | kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 | 68669 |
| 공지 | 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] | 92128 |
| 173 | VPS 공정에서 압력변수관련 질문입니다. [1] | 426 |
| 172 | 쉬쓰 천이지역에 관한 질문입니다. [1] | 1154 |
| 171 | 상압플라즈마 제품 원리 질문드립니다 [2] | 954 |
| 170 | plasma etching을 관련 문의드립니다. [1] | 2430 |
| 169 | 프리쉬스에 관한 질문입니다. [1] | 596 |
| 168 | 플라즈마 충격파 질문 [1] | 792 |
| 167 | O2 Plasma 에칭 실험이요 [1] | 956 |
| 166 | 플라즈마 코팅 [1] | 1035 |
| 165 | 플라즈마용사코팅에서의 carrier gas [1] | 804 |
| 164 | RF MATCHING 관련 교재 추천 부탁드립니다 [1] | 851 |
| 163 | RF tune position 과 Vrms의 관계가 궁금합니다 [1] | 965 |
| 162 | Frequnecy에 따라 플라즈마 영역이 달라질까요? [1] | 558 |
| 161 |
염소발생 전기분해 시 스파크 발생에 관해 질문드립니다.
[1]  | 390 |
| 160 | 플라즈마 세라믹코팅후 붉은 이유는? | 2327 |
| 159 | Gas 별 Plasma 색 관련 질문입니다. [1] | 3431 |
| 158 | RF magnetron sputtering시 플라즈마 off현상 [1] | 661 |
| 157 | 플라즈마 self bias 값과 압력, 파워의 상관관계에 대해 질문이 있습니다. [1] | 2117 |
| 156 | 산소 플라즈마에 대한 질문입니다... | 487 |
| 155 |
수중 속 저온 플라즈마 방전 관련 질문 드립니다
[2] | 589 |
| 154 | 자기 거울에 관하여 | 1135 |