Plasma in general 전자 온도 구하기

2021.06.16 14:00

피했습니다 조회 수:1130

안녕하세요 교수님 언제나 좋은 정보 감사합니다.

 

저는 건식 세정 장비 회사에 다니는 엔지니어 입니다.

 

책을 통해서 공부를 하고 있는 중 플라즈마 전압과 플로팅 전압 차를 이용해 이온이 기판에 충돌하는 에너지를 구하는 식을 배웠습니다.

(식은 혹시 몰라 첨부파일에 사진으로 올렸습니다.)

 

그래서 저희 장비 기준으로 충돌 에너지를 구해 보고자 했는데, 문제는 Te 항인 전자의 온도를 어떻게 구해야하는지 모르겠어서 이렇게 문의 드립니다.

 

플라즈마 전자의 온도를 어떻게 구할 수 있나요?

 

그리고 분모에 있는 e = 1.6 * 10^-19 C 이 맞는지요 ? 

 

감사합니다.


이 게시물을
목록
목록
번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [268] 76726
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 20181
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 57167
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 68697
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 92276
689 Chamber 내 Pressure와 Fluid Density, Residence Time 거동 [1] file 544
688 Chamber impedance 범위에 대해 질문드립니다. 544
687 Bais 인가 Cable 위치 관련 문의 [1] 546
686 Remote plasma source의 주파수 400kHz 이유 [1] 549
685 PECVD설비 Matcher 아킹 질문 [2] 549
684 전쉬스에 대한 간단한 질문 [1] 550
683 Frequnecy에 따라 플라즈마 영역이 달라질까요? [1] 558
682 Arcing 과 Self-DC Bias Voltage 상관 관계 [1] 561
681 핵융합 질문 [1] 567
680 활성이온 측정 방법 [1] 572
679 CCP RIE 플라즈마 밀도 [1] 575
678 조선업에서 철재절단용으로 사용하는 가스 프라즈마에 대한 질문 [1] 576
677 Plasma Reflect를 관리하는 방법이 있을까요? [1] 579
676 Interlock 화면.mag overtemp의 의미 585
675 OES를 통한 공정 개선 사례가 있는지 궁금합니다. [1] 586
674 간단한 질문 몇개드립니다. [1] 587
673 수중 속 저온 플라즈마 방전 관련 질문 드립니다 [2] file 589
672 연속 Plasma시 예상되는 문제와 횟수를 제한할 경우의 판단 기준 [1] file 592
671 Co-relation between RF Forward power and Vpp [1] 593
670 프리쉬스에 관한 질문입니다. [1] 596
쓰기
태그

Boards

XE Login