Chamber Impedance IMPEDANCE MATCHING PATH에서 S/H ~ MATCHER 간 전력전송 방법들에 대해 문의드립니다.

2021.11.02 19:27

어려웡 조회 수:1507

CVD 설비에서 GENERATOR에서 온 AC POWER는 MATCHER를 거쳐 S/H로 공급되는데요

 

MATCHER ~ S/H간 연결 방식이 장비 MAKER마다 다른데 특별한 이유가 있나요?

 

어느 설비는 단단하게 고정된 CU, AG 재질을 쓰는 곳이 있고, 어느 설비는 얇은 끈, 전선같은 방식을 채택하기도 하던데

 

RF 전송 PATH의 굵기, 곡률(직각, 직선, 곡률이 있는경우), 재질과 같은 H/W적 요소가 IMPEDANCE MATHCING에 어떤 영향을 미치나요?

 

어떤 내용이나 자료를 공부하면 알 수 있나요?

이 게시물을
목록
목록
번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [266] 76683
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 20152
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 57157
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 68677
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 92193
687 Chamber impedance 범위에 대해 질문드립니다. 543
686 Chamber 내 Pressure와 Fluid Density, Residence Time 거동 [1] file 544
685 Bais 인가 Cable 위치 관련 문의 [1] 546
684 Arcing 과 Self-DC Bias Voltage 상관 관계 [1] 549
683 전쉬스에 대한 간단한 질문 [1] 550
682 Frequnecy에 따라 플라즈마 영역이 달라질까요? [1] 558
681 핵융합 질문 [1] 567
680 활성이온 측정 방법 [1] 572
679 CCP RIE 플라즈마 밀도 [1] 572
678 Plasma Reflect를 관리하는 방법이 있을까요? [1] 574
677 조선업에서 철재절단용으로 사용하는 가스 프라즈마에 대한 질문 [1] 575
676 Interlock 화면.mag overtemp의 의미 584
675 OES를 통한 공정 개선 사례가 있는지 궁금합니다. [1] 584
674 간단한 질문 몇개드립니다. [1] 587
673 수중 속 저온 플라즈마 방전 관련 질문 드립니다 [2] file 589
672 연속 Plasma시 예상되는 문제와 횟수를 제한할 경우의 판단 기준 [1] file 590
671 Co-relation between RF Forward power and Vpp [1] 592
670 RF Sputtering Target Issue [2] file 592
669 N2 GAS를 이용한 Plasma에 대한 질문 [1] 593
668 프리쉬스에 관한 질문입니다. [1] 596
쓰기
태그

Boards

XE Login