Ashing Uniformity 관련하여 문의드립니다.
2021.11.19 14:18
안녕하세요.
Plasma 관련 공부를 처음 시작하게된 엔지니어입니다.
교수님의 설명을 통해 이곳에서 많은 공부를 하고 있는 도중 의문점이 있어 질문 드립니다.
Source Gas의 Uniformity를 관련하여 공부하고 있는데요
Plasma도 처음 시작하게 되었는데 기체의 유동도 많은 관련이 있어 공부를 시작하려 합니다.
진공 상태에서 Gas가 분출되어 나오고, showerhead를 통해 Process 공간으로 분사될 때 Gas의 Density를 대략적으로 계산할 수 있는 식이 있을까요??
예를들면 직경 10Φ의 원형에서 Gas가 분출되어 나오고 Showerhead와의 거리는 A, Showerhead 면적이 100mm x 50mm 일때 Showerhead를 통과하는 기체의 Density를 구할 수 있을까요??
정확하지 않더라도 간단하게 유추정도만 해볼 수 있는 식이 있다면 지도 부탁드립니다.
댓글 1
번호 | 제목 | 조회 수 |
---|---|---|
공지 | [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [268] | 76726 |
공지 | Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 | 20175 |
공지 | 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. | 57166 |
공지 | kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 | 68697 |
공지 | 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] | 92275 |
689 | Chamber impedance 범위에 대해 질문드립니다. | 543 |
688 | Chamber 내 Pressure와 Fluid Density, Residence Time 거동 [1] | 544 |
687 | Bais 인가 Cable 위치 관련 문의 [1] | 546 |
686 | Remote plasma source의 주파수 400kHz 이유 [1] | 547 |
685 | PECVD설비 Matcher 아킹 질문 [2] | 548 |
684 | 전쉬스에 대한 간단한 질문 [1] | 550 |
683 | Frequnecy에 따라 플라즈마 영역이 달라질까요? [1] | 558 |
682 | Arcing 과 Self-DC Bias Voltage 상관 관계 [1] | 559 |
681 | 핵융합 질문 [1] | 567 |
680 | 활성이온 측정 방법 [1] | 572 |
679 | CCP RIE 플라즈마 밀도 [1] | 575 |
678 | 조선업에서 철재절단용으로 사용하는 가스 프라즈마에 대한 질문 [1] | 576 |
677 | Plasma Reflect를 관리하는 방법이 있을까요? [1] | 579 |
676 | Interlock 화면.mag overtemp의 의미 | 585 |
675 | OES를 통한 공정 개선 사례가 있는지 궁금합니다. [1] | 586 |
674 | 간단한 질문 몇개드립니다. [1] | 587 |
673 | 수중 속 저온 플라즈마 방전 관련 질문 드립니다 [2] | 589 |
672 | 연속 Plasma시 예상되는 문제와 횟수를 제한할 경우의 판단 기준 [1] | 592 |
671 | Co-relation between RF Forward power and Vpp [1] | 593 |
670 | RF Sputtering Target Issue [2] | 595 |