Plasma in general Plasma Cleaning 관련 문의
2021.11.30 15:37
안녕하세요.
Plasma를 이용한 Cleaning 공부를 하고 있는 직장인 입니다.
Remote Plasma Asher 설비를 공부하고 있는데요,
PR Remove 시에는 O2 Gas를 사용하여 제거하는 것으로 알고있습니다.
C + O* → O2↑
여기서 O2를 Plasma로 방전시키고, N2 Gas를 Carrier gas로 사용하는데,
여기서 Carrier gas는 말 그대로 Radical을 이동시키는 역할만 하는 것인가요??
N2 Gas를 Carrier gas로 사용하는 이유가 궁금합니다.
추가로 Corrosion 방지를 위해 H2O Gas도 사용하는 것으로 알고 있는데요,
H2O 로 Corrosion을 방지하는 원리도 설명 부탁드립니다.
댓글 1
번호 | 제목 | 조회 수 |
---|---|---|
공지 | [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [267] | 76710 |
공지 | Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 | 20163 |
공지 | 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. | 57163 |
공지 | kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 | 68685 |
공지 | 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] | 92246 |
688 | Chamber impedance 범위에 대해 질문드립니다. | 543 |
687 | Chamber 내 Pressure와 Fluid Density, Residence Time 거동 [1] | 544 |
686 | PECVD설비 Matcher 아킹 질문 [2] | 544 |
685 | Bais 인가 Cable 위치 관련 문의 [1] | 546 |
684 | 전쉬스에 대한 간단한 질문 [1] | 550 |
683 | Arcing 과 Self-DC Bias Voltage 상관 관계 [1] | 555 |
682 | Frequnecy에 따라 플라즈마 영역이 달라질까요? [1] | 558 |
681 | 핵융합 질문 [1] | 567 |
680 | 활성이온 측정 방법 [1] | 572 |
679 | CCP RIE 플라즈마 밀도 [1] | 574 |
678 | 조선업에서 철재절단용으로 사용하는 가스 프라즈마에 대한 질문 [1] | 576 |
677 | Plasma Reflect를 관리하는 방법이 있을까요? [1] | 579 |
676 | Interlock 화면.mag overtemp의 의미 | 585 |
675 | OES를 통한 공정 개선 사례가 있는지 궁금합니다. [1] | 586 |
674 | 간단한 질문 몇개드립니다. [1] | 587 |
673 | 수중 속 저온 플라즈마 방전 관련 질문 드립니다 [2] | 589 |
672 | 연속 Plasma시 예상되는 문제와 횟수를 제한할 경우의 판단 기준 [1] | 591 |
671 | Co-relation between RF Forward power and Vpp [1] | 592 |
670 | RF Sputtering Target Issue [2] | 594 |
669 | 프리쉬스에 관한 질문입니다. [1] | 596 |