Sheath 교수님 질문이 있습니다.

2019.07.01 18:46

팸킷 조회 수:732

안녕하세요 교수님 , 저는 최근들어 반도체공정관련해서 공부중인 지나가던(?) 기계공학과 학생입니다 !

다름이 아니라 , 플라즈마 sheath에 대해 찾아보니까 약간 개념적으로 정확하게 잘 정립이 안되서 이곳저곳 찾다가 이곳을 알게되어

이렇게 질문을하게 되었습니다.


플라즈마 sheath는 제가 찾아본바에 의하면 , 전자는 양이온보다 속도가 빨라서 chamber벽 같은곳에 흡수가 잘되어서 결국 소실되는게 많아

상대적으로 양이온,중성자만 많게된 곳을 sheath라고 알고있습니다.  그런데 , sheath 층은 얇을수록 플라즈마 bulk( 플라즈마 sheath가 아닌영역)안에 있는 양이온이 이동하기가 쉬워서 결국 wafer를 양이온으로 dry etch하는게 더 쉽다는데,


1.왜 sheath층이 얇을수록 양이온이 더 이동하기 쉬운지 알고싶습니다.


2. 그리고 sheath층을 줄이려면 어떤방법들이 있을까요??   ex> (답은아니겠지만...) 가해주는 전압을 줄인다. 등등 간단한식으로 말씀해주셔도 전혀 상관없습니다 !! 


감사합니다 교수님 !!

번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [265] 76538
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 20076
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 57115
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 68613
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 91695
683 전쉬스에 대한 간단한 질문 [1] 543
682 Plasma Reflect를 관리하는 방법이 있을까요? [1] 550
681 Frequnecy에 따라 플라즈마 영역이 달라질까요? [1] 554
680 핵융합 질문 [1] 561
679 CCP RIE 플라즈마 밀도 [1] 566
678 간단한 질문 몇개드립니다. [1] 567
677 활성이온 측정 방법 [1] 570
676 RF Sputtering Target Issue [2] file 570
675 plasma 공정 중 색변화 [1] 571
674 OES를 통한 공정 개선 사례가 있는지 궁금합니다. [1] 572
673 조선업에서 철재절단용으로 사용하는 가스 프라즈마에 대한 질문 [1] 574
672 N2 GAS를 이용한 Plasma에 대한 질문 [1] 576
671 Interlock 화면.mag overtemp의 의미 578
670 수중 속 저온 플라즈마 방전 관련 질문 드립니다 [2] file 581
669 Co-relation between RF Forward power and Vpp [1] 585
668 플라즈마를 알기 위해선 어떤 과목을 공부해야 할까요? [1] 586
667 연속 Plasma시 예상되는 문제와 횟수를 제한할 경우의 판단 기준 [1] file 588
666 기판표면 번개모양 불량발생 [1] 590
665 OES 파장 관련하여 질문 드립니다. [1] 592
664 프리쉬스에 관한 질문입니다. [1] 594

Boards


XE Login